Napylanie katodowe cienkich warstw na powierzchni tworzyw polimerowych

• Autorzy: Bula K. , Jurga J.
• Konferencja: Seminarium Tworzywa Sztuczne w Budowie Maszyn (11 ; 2006 ; Kraków)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy zawarto skrócony opis metody i stanowiska do nanoszenia powłok metalowych z wykorzystaniem napylania katodowego. W trakcie prób stwierdzono ścisłą zależność wyładowań jarzeniowych i temperatury podłoża od wartości ciśnienia w komorze magnetronu.

EN

The work contains short description of metal ion sputtering method. Conducted tests showed strong relation between gas ionization processes vs. pressure value into the chamber.

Słowa kluczowe

PL

metalizacja; napylanie katodowe; plazma; projekt badawczy 21-216/06 DS

EN

metallic coatings; plasma; sputtering

• Wydawca: Wydawnictwo Politechniki Krakowskiej im. Tadeusza Kościuszki
• Czasopismo: Czasopismo Techniczne. Mechanika
• Rocznik: 2006
• Tom: R. 103, z. 6-M
• Strony: 81--84
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz.,Il., rys.,

Twórcy

autor

Bula K.

autor

Jurga J.

• Zakład Tworzyw Sztucznych, Instytut Technologii Materiałów, Politechnika Poznańska

Bibliografia

• [1] Surowiak W., Chudzyński S., Tworzywa sztuczne w budowie maszyn, WNT, Warszawa, 1971.
• [2] Katc M. W., Metalizacja materiałów włókienniczych, WNT, Warszawa, 1973.
• [3] Celiński Z., Podstawy fizyki plazmy w zastosowaniach technicznych, WNT, Warszawa, 1970.
• [4] Posadowski W.P., Radzimski Z.J., Sustained self-sputtering using direct current magnetron source, J. Vac. Sci. Techn. vol. 6, 1993.
• [5] Shingubara S., Sano A., Sakauke H., Takahagi T., Horiike Y., Radzimski Z.J., Posadowski W.P., Cu deposition characteristics into submicron contact holes employing self-sputtering, Materials Research Society vol. 427, 1996.