Warstwy falowodowe z polimetakrylanu metylu i poliimidu w podzespołach z falą akustyczną typu Love'a

• Autorzy: Hechner J.

Warianty tytułu

EN

Polymethylmethacrylate and polyimide as a waveguide in the Love wave devices

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono wyniki badań dotyczące zastosowania falowodów z polimetakrylanu i poliimidu w podzespołach piezoelektrycznych z akustyczną falą Love'a. Porównano efekty falowodowe wywoływane tymi polimerami z najczęściej stosowanym falowodem z dwutlenku krzemu. Ocenę własności falowodowych badanych substancji prowadzono na różnych podłożach piezoelektrycznych, takich jak.: niobian litu o orientacji 41°YX, tantalan litu o orientacji 36°YX i kwarc AT. Określono wpływ geometrii warstw falowodowych na parametry akustycznych fal generowanych w badanych podłożach piezoelektrycznych.

EN

In this article the results of the investigations concerned of polymethylmethacrylate and polyimide application as a waveguide in the Love wave devices are presented. The waveguide effects caused by above polymers and the mostly used SiO2 waveguide are compared. The estimation of the waveguide properties of the studied substances was carried out on the several, different piezoelectric substrates such as: 41°YX LiNbO3, 36°YX LiTaO3, and quartz AT. The influence of the guiding layer geometry on the parameters of the acoustic waves, generated in the above piezoelectric substrates was examined.

Słowa kluczowe

PL

warstwa falowodowa; fala akustyczna typu Love'a; efekt Love'a; bioczujnik z falą akustyczną

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
• Czasopismo: Materiały Elektroniczne
• Rocznik: 2008
• Tom: T. 36, nr 2
• Strony: 34--52
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Hechner J.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, ul. Wólczyńska 133, 01-919 Warszawa,

Bibliografia

• [1] Jeuter D., Jose R, Wenzel M., Hossenlopp J., Cernose R.: Design of portable guided SH-SAW chemical sensor system for liquid enviroments. Proceedings IEEE, (2005), 59-67
• [2] Ren-Chuan Chang, Sheng-Yuan Chu, Cheng-Shong Hong, Yu-Ting Chuang: A study of Love wave devices in ZnO/quartz and ZnO/LiTaO3 structures. Thin Solid Films, 498, (2006), 146-151
• [3] Newton M.I., Hale G., Martin F.: Experimental study of Love wave devices with thick guiding layers. Sensors and Actuators. A, 109, (2004), 180-185
• [4] Pereira da Cunha M.: High velocity pseudo surface waves (HVPSAW): further insight. Proceedings IEEE Ultrasonics Symposium, (1996), 97-105
• [5] Turton A., Bhattacharyya D., Wood D.: Love-mode surface acoustic wave liquid sensors using a ployimide waveguide layer. Proceedings IEEE International Frequency Control Symposium, (2004), 250-255
• [6] Gizeli E.: Study of the sensitivity of the acoustic waveguide sensor. Anal.Chem., 72, (2000), 5967-5972
• [7] Ricco A.I., Martin S.J., Zipperian T.E.: Surface acoustic wave gas sensors based on film conductivity changes. Sensors and Actuators, 8, (1985), 319-326