Określanie koncentracji węgla w monokryształach GaP na podstawie widm absorpcyjnych w podczerwieni

• Autorzy: Strzelecka S. , Surma B. , Hruban A. , Jurkiewicz-Wegner E. , Piersa M. , Orłowski W. , Mirowska A.

Warianty tytułu

EN

Determination of carbon concentration single crystals from absorption spectra in in range

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W oparciu o pomiar absorpcji na lokalnych modach drgających (LVM) opracowano warunki pomiaru i krzywą kalibracji pozwalającą na określenie koncentracji węgla w niedomieszkowanych monokryształach GaP. Granice detekcji w temperaturach 12 K i 300 K wynoszą odpowiednio 1 x 10[indeks górny]15 cm-³ i 1 x 10[indeks górny]16 cm-³. Badania metodą Glow Discherge Mess Spectroscopy (GDMS) wskazują, że granicą detekcji dla tej metody jest Nc ≥ l x 10[indeks górny]17 cm-³. Pomiary hallowskie w funkcji temperatury wskazują, że węgiel jest głównym akceptorem w niedomieszkowanych monokryształach GaP.

EN

Method of carbon concentration assessment in GaP crystals was v It is based on absorption measurement on local vibration modes (LVM) method calibration curve and measurement conditions were found. Detection limit at 12 K and 300 K are 1 x 10[sup]15 cm³ i 1 x 10[sup]l6cm-³ respectively. GDMS dons indicate that limit detection is Nc ≥ 1 x 10[sup]17cm-³ for this method, surements versus reciprocal temperature confirm that carbon is a main undoped GaP monocrystals.

Słowa kluczowe

PL

widmo absorpcyjne w podczerwieni; krzywa kalibracji; niedomieszkowany monokryształ GaP; określanie koncentracji węgla

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
• Czasopismo: Materiały Elektroniczne
• Rocznik: 2007
• Tom: T. 35, nr 2
• Strony: 24--35
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., wykr.

Twórcy

autor

Strzelecka S.

autor

Surma B.

autor

Hruban A.

autor

Jurkiewicz-Wegner E.

autor

Piersa M.

autor

Orłowski W.

autor

Mirowska A.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, ul. Wólczyńska 133, 01-919 Warszawa,

Bibliografia

• [1] Hayes W., Wiltshire M.C.K., Dean P. J.: Local vibrational modes carbon in GaP, J.Phys. C: Solid St.Phys., 3 (1970) 1762-1766
• [2] Weyers M., Shiraishi K.: Carbon in III - V Compounds: A theoretical approach, J.Appl. Phys., 31 (1992) 2483-2487
• [3] Theys B., Benchimol J.L., Rao E.Y.K., Chevalier J., Juhel M.: Evidence of hydrogen-carbon interactions in plasma hydrogenated carbon-doped n - InP, Appl.Phys.Lett., 72, 20(1998)2568-2570
• [4] Thompson F., Newman R.C.: Localized vibrational modes of light impurities in gallium phosphide, J.Phys.C: Solid St.Phys., 4 (1971) 3249-3257
• [5] Berndt V., Kopylov A.A., Pikhtin A.N.: Optical absorption and structure of acceptor centers in gallium phosphide; Soviet Physics - Semiconductors, September 11, 9 (1977) 1044-1048