Cienkie warstwy na bazie tytanu osadzane laserem pulsacyjnym

Matuszkiewicz, D.; Kotas, S.; Major, B.

Artykuł - szczegóły

Tytuł artykułu

Cienkie warstwy na bazie tytanu osadzane laserem pulsacyjnym

Autorzy

Matuszkiewicz D. , Kotas S. , Major B.

Identyfikatory

Warianty tytułu

Thin layers of titanium basis deposited using pulsed laser

Konferencja

Współczesne Zagadnienia w Materiałoznawstwie i Technologii Bezwiórowej (1998 ; Bydgoszcz, Polska)

Języki publikacji

Abstrakty

Osadzanie laser pulsacyjnym należy do nowoczesnych technologii wytwarzania cienkich warst z szerokigo spektrum materiałów obejmujących tak czyste pierwiastki, jak i związki chemiczne. Podstawą techniki jest krystalizacja z fazy gazowej po laserowej ablacji osadzanego materiału. W pracy przedstawiono wyniki badań strukturalnych cienkich warstw na bazie tytanu obejmujących: tytan metaliczny, azotek i tlenek tytanu. Stwierdzono, iż uzyskane warstwy posiadały jednorodną budowę nano-krystaliczną. Przedmiotem badań był wpływ warunków procesu na mikrostrukturę, tworzące się fazy i poziom naprężeń własnych. Badania prowadzono techniką elektronowej mikroskopii skaningowej (SEM) i transmisyjnej (TEM) oraz dyfrakcji rentgenowskiej (XRD).

Pulsed laser deposition (PLD) belongs to advanced technologies of thin layers production. The success of PLD has in the deposition of a wide variety of materials; form pure elements to multicomponent compunds. The basis of the technology is a solidification of materials from a gaseous phase subjected formarly to a laser ablation. Structural examinations were performed on the titanium base layers: metallic, nitride and oxide types. Generally, the received homogeneous layers presented a nano-structure. Influence of deposition parameters on microstructure, phases and level residual stress was under examination. The studies were performed using scanning (SEM), transmission (TEM) electron microscopies and X-ray diffraction (XRD).

Słowa kluczowe

badania strukturalne krystalizacja z fazy gazowej laser pulsacyjny

Wydawca

Wydawnictwa Uczelniane Akademii Techniczno-Rolniczej w Bydgoszczy

Czasopismo

Zeszyty Naukowe. Mechanika / Akademia Techniczno-Rolnicza w Bydgoszczy

Rocznik

1998

Tom

Z. 43 (216)

Strony

257--263

Opis fizyczny

Bibliogr. 5 poz.,Fot., rys., wykr.,

Twórcy

autor

Matuszkiewicz D.

autor

Kotas S.

autor

Major B.

Politechnika Krakowska, Instytut Metaloznawstwa i Technologii Metali, Al. Jana Pawła II, 31-864 Kraków

Bibliografia

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-article-BAT2-0001-0237