Opracowanie metodyki przygotowywania próbek stalowych za pomocą urządzenia PECS do badań przy użyciu elektronowego mikroskopu skaningowego FEI

• Autorzy: Wojtas J. , Radwański K. , Gazdowicz J.

Warianty tytułu

EN

Development of methodology for preparing steel samples using PECS for examinations by means of electron scanning microscope by FEI

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Celem pracy było określenie możliwości wykorzystania i wdrożenia w warunkach Instytutu czyszczarko-napylarko-trawiarki PECS firmy Gatan - USA. Urządzenie PECS umożliwia usuwanie nalotów i rys oraz precyzyjne wytrawianie zarówno bardzo delikatne, potrzebne dla największych powiększeń, jak i bardzo głębokie - dla małych powiększeń, a także nanoszenie warstw węgla i metali o precyzyjnie określonej żądanej grubości. Wykonano trawienie i czyszczenie zgładów, nanoszenie i usuwanie warstw o żądanej grubości z dokładnością do 10 nm. Stwierdzono, że urządzenie PECS jest szczególnie przydatne do polerowania i trawienia materiałów miękkich, dla których uzyskanie wysokiej jakości powierzchni jest utrudnione i nie zawsze możliwe przy stosowaniu tradycyjnych metod. Ograniczeniem wykorzystania PECS do polerowania i trawienia próbek jest średnica działania wiązki jonów Ar wynosząca maksymalnie 7 mm a efektywnie 5 mm.

EN

The purpose of the work was to specify the opportunities of using and implementing the PECS machine from Gatan - USA. The PECS allows removing tarnishes and scratches and precise etching, both very delicate - required for the highest magnifications, and very deep - for Iow magnifications, as well as depositing carbon and metal layers with the reguired, precisely defined thickness. Etching and cleaning of microsections and depositing and removing layers with required thickness with accuracy of up to 10 nm was carried aut. The PECS was found to be particularly useful for polishing and etching soft materials for which obtaining high-guality surface is hindered and not always possible when using conventional methods. The restriction of using PECS for polishing and etching samples is the diameter of Ar ion beam operation, which is max 7 mm and effectively 5 mm.

Słowa kluczowe

PL

próbka stalowa; urządzenie PECS

EN

steel sample; PECS machine

• Wydawca: Instytut Metalurgii Żelaza im. Stanisława Staszica
• Czasopismo: Prace Instytutu Metalurgii Żelaza
• Rocznik: 2008
• Tom: T. 60, nr 3
• Strony: 47--49
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., zdj.

Twórcy

autor

Wojtas J.

autor

Radwański K.

autor

Gazdowicz J.

• Instytut Metalurgii Żelaza

Bibliografia

• 1. Radwański R., Gazdowicz J., Wiedermann J., Maciosowski A.: Prace IMŻ, t. 60, 2008, nr 2, s. 46.
• 2. Specimen Preparation in Material Science. Practical Methods in Electron Microscopy. J. J. Goodhew, Editor: A. M. Glanert, Amsterdam 1972.
• 3. Instrukcja obsługi PECS (Precision Etching Coating System).