Nowoczesne konstrukcje komór próżniowych dla technologii PAPVD

• Autorzy: Kozioł S. , Samborski T. , Brudnias R. , Smolik J. , Walkowicz J.

Warianty tytułu

EN

Modern constructions of vapor chaber aimed at PAPVD technologies

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono wyniki prac w zakresie konstrukcji i wytwarzania aparatury do przemysłowych zastosowań technologii PAPVD. Wśród opracowanych i produkowanych w Instytucie urządzeń znajdują się komory próżniowe wraz z osprzętem pomiarowym i technologicznym, źródła plazmy i urządzenia do przygotowania powierzchni detali pokrywanych powłokami a także ich przechowywania.

EN

In the article the results of Works in the area of construction and production of apparatus for industrial application of PVD Technologies were presented. Among tools developer and manufactured in the Institute there are vapor chambers with measurement and technological accessories, plasma tesources and tools for preparation of details surfach covered with coatings and their storing.

Słowa kluczowe

PL

komora próżniowa; konstrukcja; technologia; proces PVD

EN

vapor chaber; construction; technology; PVD process

• Wydawca: Wydawnictwo Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji - Państwowego Instytutu Badawczego
• Czasopismo: Problemy Eksploatacji
• Rocznik: 2004
• Tom: nr 3
• Strony: 163--174
• Opis fizyczny: Bibliogr. 17 poz., rys.

Twórcy

autor

Kozioł S.

• Instytut Technologii Eksploatacji, Radom

autor

Samborski T.

• Instytut Technologii Eksploatacji, Radom

autor

Brudnias R.

• Instytut Technologii Eksploatacji, Radom

autor

Smolik J.

• Instytut Technologii Eksploatacji, Radom

autor

Walkowicz J.

• Instytut Technologii Eksploatacji, Radom

Bibliografia

• 1. Burakowski T., Wierzchoń T.: „Inżynieria powierzchni metali - podstawy, urządzenia, technologie”. WNT, Warszawa 1995.
• 2. Bell T.: Proceedings of the Conference Heat Treatment and Surface Engineering. London (UK) 1987.
• 3. Mazurkiewicz A., Smolik J., Walkowicz J.: Advances in Manufacturing Science and Technology, 26 (2002) 25.
• 4. Knotek O., Löffler F., Krämer G.: Surface and Coatings Technology, 61(1993) 320.
• 5. Smolik J., Zdunek Z.: Surface and Coatings Technology 116-119 (1999) 398.
• 6. Vogel J.: Technical paper: „An update of PVD TiN and new generation coatings for cutting and forming tools and component wear parts”, International Manufacturing Technology Conference, Surface Treatment of Cutting Tools, Chicago Illinois, September 10 (1990).
• 7. Smolik J., Walkowicz J., Tacikowski J.: Surface and Coatings Technology 125 (2000) 134.
• 8. Vetter J.: Surface and Coatings Technology 76-77 (1995) 719.
• 9. Smolik J., Paszenda Z., Walkowicz J., Marciniak J., Chrzanowski W.: „Carbon coatings on implants for traumatology made from the Cr-Ni-Mo steel”, 18th European Conference on Biomaterials, 01-04 October 2003, Studgart, Germany.
• 10. Paulino-Sagradi D., Sagradi M., Karimi A., Martin J.L.: Scripta Materialia, 1988, 39 (2): 131.
• 11. Smolik J., Walkowicz J., Tacikowski J.: Problemy Eksploatacji 4 (2000) 87.
• 12. Smolik J., Miernik J., Matras E., Przybylski J., Gospodarczyk A.: Problemy Eksploatacji 4 (2000) 319.
• 13. Miernik K., Walkowicz J., Smolik J., Bujak J., Brudnias R., Słomka Z.: Problemy Eksploatacji 4 (2000) 303.
• 14. Miernik K.: Działanie i budowa magnetronowych urządzeń rozpylających. Wyd. ITeE, Radom 1997.
• 15. Walkowicz J., Smolik J., Tacikowski J.: High Temperature Material Processes, 5 (2001) 491.
• 16. Walkowicz J., Smolik J., Miernik K., Bujak J.: Surface and Coatings Technology, 81 (1996) 201.
• 17. Mack M.: „Surface Technology - Wear Protection”, edited by Die Bibliothek der Technik 1990, 930038 Germany.