Projekt modułowego tygla wielopozycyjnego przeznaczonego do odparowywania materiałów metodą EB-PVD

• Autorzy: Mazurkiewicz A. , Smolik J. , Piasek A. , Samborski T.

Warianty tytułu

EN

Multi-position modular crucible for the evaporation of materials by EB-PVD

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono problemy dotyczące wykorzystania metody EB-PVD (electron beam physical vapour deposition) do odparowywania materiałów o różnych właściwościach cieplnych, w tym: różnych współczynnikach przewodności cieplnej, różnych temperaturach topnienia i parowania. Opisano proces odparowania materiału wiązką elektronową, a także przedstawiono rozwiązania techniczne tygli i urządzeń, umożliwiające wytwarzanie powłok złożonych metodą EB-PVD. Autorzy zaprezentowali nowatorski projekt modułowego tygla wielopozycyjnego, który materiałom o różnych właściwościach cieplnych zapewnia różną intensywność chłodzenia. Umożliwia to efektywne odparowanie różnych materiałów na tym samym etapie procesu technologicznego, co jest podstawą do komponowania powłok złożonych, tj. wieloskładnikowych, kompozytowych i wielowarstwowych.

EN

The article presents problems concerning the use of the EB-PVD method (electron beam physical vapour deposition) for the evaporation of materials with different thermal properties including different coefficients of thermal conductivity, and different melting points and evaporation temperatures. The evaporation process of material by electron beam is described and the technical solutions for crucibles and devices that enable the production of composite coatings by EB-PVD are presented. The authors present an innovative design of a multi-position modular crucible that provides different cooling intensities for materials with different thermal properties. This enables the efficient evaporation of various materials in the same technological process, which is essential for composing compound coatings, i.e. multi-component, composite and multi-layer.

Słowa kluczowe

PL

metoda EB-PVD; wiązka elektronowa; tygiel wielopozycyjny

EN

EB-PVD; electron beam; multi-position crucible

• Wydawca: Wydawnictwo Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji - Państwowego Instytutu Badawczego
• Czasopismo: Problemy Eksploatacji
• Rocznik: 2012
• Tom: nr 3
• Strony: 223--234
• Opis fizyczny: Bibliogr. 17 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Mazurkiewicz A.

autor

Smolik J.

autor

Piasek A.

autor

Samborski T.

• Instytut Technologii Eksploatacji - PIB, Radom,

Bibliografia

• 1. Hogmmark S., Jacobson S., Larsson M.: Design and evaluation of tribological coatings, Wear 246 (2000) 20-33.
• 2. Donet C., Erdemir A.: Historical developments and new trends in tribological and solid lubricant coatings, Surface and Coatings Technology 180–181 (2004) 76-84.
• 3. Smolik J., Mazurkiewicz A.: The development of surface hybrid technologies as a result of practical industrial applications, Problemy Eksploatacji 3 (2010) 105-114.
• 4. Haynes J.A., Lance M.J., Pint B.A., Wright I.G.: Characterization of commercial EB-PVD TBC systems with CVD (Ni, Pt)Al bond coatings, Surface and Coatings Technology 146-147 (2001) 140-146.
• 5. Movchan B.A., Yakowchuk K.Y.: Graded thermal barrier coatings, deposited by EB-PVD, Surface and Coatings Technology 188-189 (2004) 85-92.
• 6. Mazurkiewicz A., Smolik J.: Development of novel nano-structure functional coatings with the use oft he original hybrid device, Materials Science Forum Vol. 674 (2011) 1-9.
• 7. Movchan B.A., Marinski G.S.: Gradient protective coatings of different application produced by EB-PVD, Surface and Coatings Technology 100-101 (1998) 309-315.
• 8. Smolik J., Mazurkiewicz A.: The deposition of Ni/Cr-Cr3C2 composite coatings by Arc-EB hybrid technology, Materials Science Forum Vol. 674 (2011) 71-80.
• 9. Wolf E.D., Singh J., Naramsimhan K.: Synthesis and characterization of multilayered TiC/TiB2 coatings deposited by ion beam assisted, electron beam-physical vapor deposition (E-PVD), Surface and Coatings Technology 165 issue 1 (2003) 8-25.
• 10. Richert M., Mazurkiewicz A., Smolik J.: Chromium carbide coatings obtained by the hybryd PVD methods, Archives of Material Science and Engineering vol. 43, issue 1, November 2010, 145-152.
• 11. Burakowski T.: Wiązka elektronowa i możliwości jej wykorzystania do poprawy własności powierzchni, Mechanik 8-9 (1995) 281-285.
• 12. Szymański H., Friedel K., Słówko W.: Urządzenia elektronowiązkowe, WNT, 1990.
• 13. Oczoś K.: Kształtowanie materiałów skoncentrowanymi strumieniami energii, WUPR, Rzeszów 1988.
• 14. Vutova K., Vassilieva V., Mladenov G.: Simulation of the heat transfer process through treated metal, molted in a water-cooled crucible by an electron beam, Vacuum vol. 48 n. 2 (1997) 143–148.
• 15. Metzner Ch., Goedicke K., Hoetzsch G., Scheffel B., Heinss J.-P.: Electron beam-PVD for enhanced surface properties on metallic strips and sheets, Surface and Coatings Technology 94-95 (1997) 663-668.
• 16. Prabhu V., Indraneel V., Sohyung Cho, Jogender S.: Rapid manufacturing of rhenium components using EB-PVD, Rapid Prototyping Journal, vol. 11 (2005) 66-73.
• 17. Sielanko W., Czopik A., Jędrzejczyk M., Kulabko A., Krawczyk S., Kozłowski M.: Odchylanie wiązki elektronów o dużej mocy w urządzeniach EB-PVD, Problemy Eksploatacji 1 (2007) 137-144.