System wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach PVD/CVD

• Autorzy: Samborski T. , Kozioł S. , Matecki K.

Warianty tytułu

EN

The system of positioning substrates in PVD devices

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono rozwiązanie techniczne systemu wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach do badania i opracowywania technologii PVD. Składa się on z zespołu manipulatorów oraz ze śluzy do wprowadzania próbek do komory próżniowej, co pozwala na selektywną identyfikację efektów wybranych etapów procesów.

EN

The article presents technical solutions of positioning substrates in devices for examining and developing PVD technologies. It is composed of a load lock for placing samples in a vacuum chamber and a system of substrate transporters which allow for the identification of the effects of selected process stages.

Słowa kluczowe

PL

komora próżniowa; procesy PVD/CVD; śluza próżniowa; manipulator

EN

vacuum chamber; PVD processes; load lock; substrate transporters

• Wydawca: Wydawnictwo Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji - Państwowego Instytutu Badawczego
• Czasopismo: Problemy Eksploatacji
• Rocznik: 2008
• Tom: nr 2
• Strony: 129--137
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., rys.

Twórcy

autor

Samborski T.

autor

Kozioł S.

autor

Matecki K.

• Instytut Technologii Eksploatacji - PIB, Radom

Bibliografia

• 1. Burakowski T., Wierzchoń T.: Inżynieria powierzchni metali - podstawy, urządzenia, technologie. WNT, Warszawa 1995.
• 2. Bell T.: Proceedings of the Conference Heat Treatment and Surface Engineering, London (UK), 1987.
• 3. Mazurkiewicz A., Smolik J., Walkowicz J.: New technologies of surface engineering in the area of industrial implementation. Advances in Manufacturing Science and Technology, 2002, 26, 25–37.
• 4. Knotek O., Löffler F., Krämer G.: Deposition, properties and performance behaviour of carbide and carbonitride PVD coatings. Surface and Coatings Technology, 1993, 61, 320–325.
• 5. Smolik J., Zdunek Z.: Investigation of the influence of chemical composition of Ti(CxN1−x) layer on the stresses value in the multilayer coating TiC/Ti(CxN1−x)/TiN. Surface and Coatings Technology, 1999, 116-119, 398-403.
• 6. Vogel J.: Technical paper. An update of PVD TiN and new generation coatings for cutting and forming tools and component wear parts. International Manufacturing Technology Conference, Surface Treatment of Cutting Tools, Chicago Illinois, 1990.
• 7. Smolik J., Walkowicz J., Tacikowski J.: Influence of the structure of the composite: ‘nitrided layer/PVD coating’ on the durability of tools for hot working. Surface and Coatings Technology, 2000, 125, 134-140.
• 8. Vetter J.: Vacuum arc coatings for tools: potential and application. Surface and Coatings Technology, 1995, 76-77, 719-724.
• 9. Smolik J., Paszenda Z., Walkowicz J., Marciniak J., Chrzanowski W.: Carbon coatings on implants for traumatology made from the Cr-Ni-Mo steel.. 18th European Conference on Biomaterials, Studgart (Germany), 2003.
• 10. Paulino-Sagradi D., Sagradi M., Karimi A., Martin J.L.: Damping capacity of Fe-Cr-X high-damping alloys and its dependence on magnetic domain structure. Scripta Materialia, 1988, 39 (2), 131-138.