Ilościowa analiza profilowa GD OES warstw powierzchniowych stali po obróbce PVD lub CVD

• Autorzy: Kubiczek M.

Warianty tytułu

EN

GD OES quantitative depth profile analysis of surface layers after PVD or CVD treatment

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Opracowano metodykę analizy warstw powierzchniowych i pokryć otrzynanych metodą PVD lub CVD dla stali, a także stopów tytanu. Do kalibracji zastosowano zestaw materiałów odniesienia obejmujący pierwiastki stanowiące składniki podłoża: stale niestopowe, stopowe i stopy tytanu oraz składniki warstw PVD i CVD: glin, tytan, azot, cyrkon. Zastosowano źródło wzbudzenia zasilane prądem stałym, kalibrację wykonano pod kątem, ilościowej analizy profilowej warstw azotowanych oraz nawęglanych. Opracowana metodyka przeznaczona jest do analizy warstw o grubości od 0,1 do kilkudziesięciu mikrometrów. Umożliwia także obserwację obecności wodoru w warstwach powierzchniowych.

EN

Methodology for analysis of surface layers and coatings obtained by PVD or CVD method was developed for steel as well as titanium alloys. For calibration the set of reference materials including the elements that are the components of base, i.e. non-alloy steels, alloy steels and titanium alloys, and PVD and CVD layer components, i.e. aluminium, titanium, nitrogen, and zirconium, was used. The direct current powered excitation source was used and the calibration was made with regard to the quantitative profile analysis of nitrided and earburised layers. The developed methodology is meant for analysis of layers with thickness from 0.1 to several micrometers. It also allows the observation of presence of hydrogen in the surface layers.

Słowa kluczowe

PL

stal; obróbka PVD; obróbka CVD; warstwa powierzchniowa

EN

steel; CVD treatment; PVD treatment; surface layer

• Wydawca: Instytut Metalurgii Żelaza im. Stanisława Staszica
• Czasopismo: Prace Instytutu Metalurgii Żelaza
• Rocznik: 2008
• Tom: T. 60, nr 1
• Strony: 47--50
• Opis fizyczny: Bibliogr. 2 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Kubiczek M.

• Instytut Metalurgii Żelaza

Bibliografia

• 1. Sprawozdanie IMŻ nr S0 510/BC/2004.
• 2. Burakowski T., Wierzchoń T.: Inżynieria powierzchni metali, WNT 1995.