Odchylanie wiązki elektronów dużej mocy w urządzeniach EB-PVD

• Autorzy: Sielanko W. , Czopik A. , Jędrzejczyk M. , Kulabko A. , Krawczyk S. , Kozłowski M.

Warianty tytułu

EN

Magnetic deflection of the high energy electron beam in EB-PVD devices

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Nanoszenie warstw metodą EB-PVD (Electron Beam Physical Vapour Deposition) jest bardzo atrakcyjne, jeśli idzie o efekty techniczne i produkcyjne, a jej stosowanie w świecie rozszerza się. Wiele światowych firm, które zajmowały się spawaniem elektronowym, oferuje urządzenia i wyrzutnie dla tej technologii [1-5]. Przedmiotem pracy było opracowanie rozwiązań umożliwiających odchylanie pod dużymi kątami wysokoenergetycznej WE, wykorzystywanej między innymi w urządzeniach próżniowych do kontrolowanego i precyzyjnego nakładania cienkich warstw metalicznych na przygotowanych podłożach metodą EB-PVD.

EN

Depositing the layers by the EB-PVD method is very attractive as far as technical and production effects are concerned, and its usage is spreading. Many worldwide companies that specialize in electron beam welding offer devices and electron guns for this technology. The objective was to develop solutions that enable the deflection of high energy electron beams, in order to control and precisely deposit thin metallic layers on the prepared surfaces using EB-PVD method.

Słowa kluczowe

PL

wiązka elektronów; WE; układ odchylania; EB-PVD

EN

electron beam; EB; deflection system; EB-PVD

• Wydawca: Wydawnictwo Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji - Państwowego Instytutu Badawczego
• Czasopismo: Problemy Eksploatacji
• Rocznik: 2007
• Tom: nr 1
• Strony: 137--144
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys.

Twórcy

autor

Sielanko W.

autor

Czopik A.

autor

Jędrzejczyk M.

autor

Kulabko A.

autor

Krawczyk S.

autor

Kozłowski M.

• Przemysłowy Instytut Elektroniki, Warszawa

Bibliografia

• 1. Reinhold E., Richter J., Waydbrink H., Zschieschang E.: Reflection Enhancement of Aluminum Strips by EB-PVD in Highly Productive Industrial Lines, International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films 2000, San Diego, USA, April 10-14, 2000, Von Ardenne Anlagentechnik GmbH.
• 2. General Brochure of ALD Vacuum Technologies GmbH.
• 3. Reinhold E., Hummel H., Richter J., Seyfert U.: Large Area Dielectric Coating of Silicon Dioxide on Steel by Reactive EB-PVD, Presentation on the 45th Annual Technical Conference of the Society of Vacuum Coaters 2002 Lake Buena Vista, Florida, USA, April 14–17, 2002, Von Ardenne Anlagentechnik GmbH.
• 4. www.patpn-icebt.kiev.ua/offers/equip.htm
• 5. www.ferrotec.com.sg