Specjalizowane układy pozycjonowania podłoży w komorach próżniwych przeznaczonych do realizacji procesów PVD

• Autorzy: Kozioł S. S. , Piątek M. , Samborski T.

Warianty tytułu

EN

Specialized systems of substrate positioning in vacuum chambers intended for PVD processes

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono rozwiązania techniczne układów pozycjonowania podłoży pokrywanych cienkimi warstwami w procesach PVD. Opisano trzystopniowy obrotnik planetarny o elastycznej, zmiennej konfiguracji, układ z poziomą osią obrotu i rozwiązania przeznaczone do całkowitego pokrywania drobnych elementów osiowo symetrycznych.

EN

This article presents technical solutions for positioning substrates covered by thin layers in PVD processes. It describes a three-stage planetary positioner with flexible configuration with a hotizontal rotation axis. This article details solutions involving completely covering small symetrical elements.

Słowa kluczowe

PL

komora próżniowa; procesy PVD; uchwyt technologiczny; obrotnik planetarny

EN

vacuum chamber; PVD processes; technological holder; planetary positioner

• Wydawca: Wydawnictwo Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji - Państwowego Instytutu Badawczego
• Czasopismo: Problemy Eksploatacji
• Rocznik: 2007
• Tom: nr 1
• Strony: 117--125
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., rys.

Twórcy

autor

Kozioł S. S.

autor

Piątek M.

autor

Samborski T.

• Instytut Technologii Eksploatacji - PIB, Radom

Bibliografia

• 1. Burakowski T., Wierzchoń T.: Inżynieria powierzchni metali - podstawy, urządzenia, technologie. WNT, Warszawa 1995.
• 2. Bell T.: Proceedings of the Conference Heat Treatment and Surface Engineering. London (UK) 1987.
• 3. Burakowski T., Miernik K., Walkowicz J.: Technologie wytwarzania z udziałem plazmy cienkich powłok tribologicznych, Tribologia 4/5-93.
• 4. Kozioł S., Samborski T., Brudnias R., Smolik J., Walkowicz J.: Nowoczesne konstrukcje komór próżniowych dla technologii PVD. Problemy Eksploatacji, 3/2004.
• 5. http://www.lesker.com/Sample Manipulation & Motion.
• 6. Konstrukcja przyrządów urządzeń precyzyjnych, WNT, Warszawa 1996.