Charakterystyka warstw z węgla amorficznego osadzanych na podłożu ze stali chirurgicznej 316L metodą laserowej ablacji lasera ArF (λ = 193 nm) w różnych temperaturach

• Autorzy: Mróz W. , Burdyńska S. , Prokopiuk A. , Wierzchoń T.

Warianty tytułu

EN

Characterization of amorphous carbon films deposited in varied temperatures onto surgical 316L stainless steel by pulsed laser deposition using an ArF ([lambda] = 193 nm)

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Warstwy diamentopodobne osadzano na powierzchni stali austenitycznej 316L na układzie lasera ekscymerowego typu ArF (λ = 193 nm). Proces wytwarzania warstwy azotowanej oraz warstw z węgla amorficznego następował dwuetapowo w jednej komorze eksperymentalnej. Przeprowadzone badania miały na celu osadzenie warstw diamentopodobnych z możliwie dużą zawartością fazy sp3. Określenie struktury fazowej osadzonych warstw wykonano za pomocą spektrometru fourierowskiego w podczerwieni (FTIR), a struktura powierzchniowa została zwizualizowana na mikroskopie sił atomowych (AFM).

EN

The amorphous carbon films were deposited onto 316L stainless steel by using the laser excimer (λ = 193 nm). Deposition of nitrided layers and amorphous carbon films was executed in two stages in one experimental chamber. The aim of the experimental investigations was to obtain diamond like carbon films with a high quantity of sp3 phase. Phase analysis of deposited films was made by using a Fourier transform infrared spectrosmetry (FTIR). The surface topography was investigated and vizualized by atomic force microscopy (AFM).

Słowa kluczowe

PL

ablacja laserowa; warstwa z węgla amorficznego

EN

laser ablation; amorphous carbon film

• Wydawca: Wydawnictwo Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji - Państwowego Instytutu Badawczego
• Czasopismo: Problemy Eksploatacji
• Rocznik: 2007
• Tom: nr 1
• Strony: 77--86
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Mróz W.

autor

Burdyńska S.

autor

Prokopiuk A.

autor

Wierzchoń T.

• Instytut Optoelektroniki, Wojskowa Akademia Techniczna

Bibliografia

• 1. Voevodin A., Walck S., Zabinski J.: Architecture of multilayer nanocomposite coatings with super-hard diamond like carbon layers for wear protection at high contact load Wear 203–204 (1997), 516–527.
• 2. Mróz W., Burdyńska S., Kasuya K., Prokopiuk A., Wierzchoń T.: Wpływ temperatury podłoża (stali 316L) na strukturę fazową warstw typu DLC (diamond like carbon) osadzanych metodą laserowej ablacji na układzie lasera ArF Inżynieria Materiałowa 5 (153) Wyd. Sigma Not 2006.
• 3. Chowdhury S., Laugier M., Rahman I.: Characterization of DLC coatings deposited by rf magnetron sputtering Journal Of Materials Processing Technology 153–154 (2004), 804–810.
• 4. Ahn H., Chizhik S., Dubravin A., Kazachenko V., Popov V.: Application of phase contrast imaging atomic force microscopy to tribofilms od DLC coatings Wear 249 (2001), 617–625.
• 5. Patterson M.: Energy depend structure changes in ion beam deposited a-C:H Diamond and Related Materials 5 (1996), 1407–1413.
• 6. Mousinho A., Mansano R., Massi M., Zambom L.: High plasma chemical vapour deposition of diamond like carbon films Microelectronics Journal 43 (2003), 627–629.
• 7. Peng X., Clyne T.: Mechanical stability of DLC films on metallic substrates: Film structure and residual stress levels Thin Solid Films 312 (1998), 207–218.
• 8. Hellgren N., Johanson M., Broitman E., Sandstrom P., Hultman L., Sundgren J.: Effect of chemical sputtering on the growth and structural evolution of magnetron sputtered CNx thin filmsThin Solid Films 382 (2001), 146–152.
• 9. Mróz W., Burdyńska S., Jelinek M., Kocourek T., Major B., Prokopiuk A., Sakai Y., Suda Y., Wierzchoń T.: Estimation of a content of sp3 hybridization in DLC films deposited with KrF laser by using Raman spectroscopy.
• 10. Mróz W., Burdyńska S., Jelinek M., Kocourek T., Major B., Prokopiuk A., Sakai Y., Sobiecki J.R., Suda Y., Wierzchoń T., Woźniak M.: Osadzanie cienkich warstw typu DLC metodą ablacji laserowej Inżynieria Materiałowa 3 (151) Wyd Sigma Not 2006.