Confocal techniques for surface profile measurements - methodology and instrumentation

• Autorzy: Galas J. , Litwin D. , Kozłowski T. , Sitarek S. , Błocki N.

Warianty tytułu

PL

Metoda i urządzenie do pomiaru kształtu powierzchni z wykorzystaniem technik konfokalnych

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

A surface profile measurement system for scanning the area of 100 mm x 100 mm with the lateral accuracy of 0.1 žm and height accuracy of 50 nm is presented. A confocal element has been used as a measurement head. This paper describes the methodology and the instrumentation including the calibration procedure and a discussion of accuracy.

PL

Opracowany i wykonany został system do pomiaru kształtu powierzchni umożliwiający skaning powierzchni w płaszczyźnie XY w zakresie 100x100 mm z dokładnością 0.1 žm oraz pomiar współrzędnej Z w zakresie 0-100 mm z dokładnością 50 nm. Jako element pomiarowy współrzędnej Z zastosowano sensor konfokalny. W artykule opisano zasadę pomiaru, opisano system pomiarowy, metody kalibracji oraz uzyskane dokładności.

Słowa kluczowe

EN

surface profiling; confocal sensor

PL

profilowanie powierzchni; sensor konfokalny

• Wydawca: Wydawnictwo Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji - Państwowego Instytutu Badawczego
• Czasopismo: Problemy Eksploatacji
• Rocznik: 2006
• Tom: nr 4
• Strony: 105--113
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys.

Twórcy

autor

Galas J.

autor

Litwin D.

autor

Kozłowski T.

autor

Sitarek S.

autor

Błocki N.

• Institute of Applied Optics, Warsaw

Bibliografia

• 1. Steel W.H.: Interferometry. Cambridge University Press, Cambridge, 1986.
• 2. Jóźwicki R.: Optyka instrumentalna. WNT, Warszawa, 1970 (in Polish).
• 3. Patorski K., Kujawińska M., Sałbut L.: Interferometria laserowa z automatyczną analizą obrazu. Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej, Warszawa, 2005 (in Polish).
• 4. Want J.C.: Computerized interferometric measurement of surface microstructure. Proc. SPIE 2576, 1995, 122–130.
• 5. Leendertz J.A.: Interferometric displacement measurement on scattering surface utilizing speckle pattern. J. Phys. E: Sci. Instrum., 1970, 3, 214–218.
• 6. Polhemus C.: Two-wavelength interferometry. Appl. Opt., 1973, 12, 2071–2073.
• 7. Nederbragt W. el al: Design and use of a high-accuracy non-contact absolute thickness measurement machine. American Society for Precision Engineering 2005, Annual Meeting, Norfolk, VA, United States, 2005.
• 8. Ruprecht A.K. et al.: Confocal micro-optical distance sensor: principle and design. Proc. SPIE 5856, 2005, 128–135.
• 9. Ruprecht A.K. et al.: Chromatic confocal detection for high speed micro-topography. Proc. SPIE 5302–6, 2004, 53–60.