Wpływ zawartości fluoru na właściwości powłok osadzanych w wyładowaniu barierowym pod ciśnieniem atmosferycznym

• Autorzy: Rżanek-Boroch Z. , Buczek M. , Ilik A. , Kosiński A.

Warianty tytułu

EN

Effect of fluorine content on the properties of layers deposited by using barrier-type discharges under atmospheric pressure

• Języki publikacji: PL

Słowa kluczowe

PL

fluor; powłoki osadzone

EN

layers deposited; fluorine

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przemysł Chemiczny
• Rocznik: 2010
• Tom: T. 89, nr 9
• Strony: 1209--1211
• Opis fizyczny: Bibliogr. 19 poz., rys., tab., wykr

Twórcy

autor

Rżanek-Boroch Z.

• Wydział Chemiczny, Politechnika Warszawska, ul. Noakowskiego 3, 00-662 Warszawa

autor

Buczek M.

• Politechnika Warszawska

autor

Ilik A.

• Uniwersytet Łódzki

autor

Kosiński A.

• Instytut Chemii Fizycznej PAN, Warszawa

Bibliografia

• 1. Praca zbiorowa, Micromachines and MEMS, (red. W.S. Timmer), IEEE Pres, New York 1997 r.
• 2. M. Madou, Fundamentals of microfabrication, Boca Raton, CRC Press, 1977 r.
• 3. Praca zbiorowa, Micro electro mechanical systems, (red. T. Fukuda i W. Menz), Elsevier 1998 r.
• 4. J.A. Dziuban, Technologia i zastosowanie mikromechanicznych struktur krzemowych i krzemowo-szklanych w technice mikrosystemów, Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2002 r.
• 5. B.Bhushan, Wear 1999, 465, 225.
• 6. S. Sundarajan, B. Bhushan, Wear 1999, 687, 225.
• 7. Praca zbiorowa, Tribology issues and opportunities in MEMS, (red. B. Bhushan), Kulver Academie Press, 1998 r.
• 8. Praca zbiorowa, Handbook of micro/nanotribology, (red. B. Bhushan), Boca Raton, CRC Press, 1999 r.
• 9. Z. Rymuza i in., Thin Solid Films 2004, 466, 158.
• 10. G.Q. Yu, B.K. Tay, Z. Sun, Surf. Coat. Technol. 2005, 191, 236.
• 11. S.F. Durrant i in., Surf. Coat. Technol. 1996, 86-87, 443.
• 12. T. Yokoyama i in., J. Phys. D: Appl. Phys. 1990, 23, 374.
• 13. R. Prat i in., Polymer 2000, 41, 7360.
• 14. R. Thyen, A. Weber, C.P. Klages, Surf. Coat. Technol. 1990, 97, 426.
• 15. I.P. Vinogradov, A. Lunk, Plasma Process. Polym. 2005, 2, 201.
• 16. F. Fanelli, R. d’Agostino, F. Fracassi, Plasma Process. Polym. 2007, 4, 797.
• 17. Z. Rżanek-Boroch i in., Contributed papers Hakone X, Japan 2006 r., 318.
• 18. Z. Rżanek-Boroch i in., Przem. Chem. 2006, 85, nr 8-9, 748.
• 19. Z. Rżanek-Boroch, K. Jóźwik, J. Adv. Oxid. Technol. 2006, 9, 237.