Wytwarzanie warstw węglowych w nowym reaktorze MW/RF

• Autorzy: Kaczorowski W. , Niedzielski P. , Mitura S.

Warianty tytułu

EN

Manufacture of carbon coating for biomedical applications in a new MW/RF reactor

• Języki publikacji: PL EN

Abstrakty

PL

Warstwy węglowe wytworzono metodą dwuczęstotliwościową (MW/RF PCVD - microwave and radio frequency plasma chemical vapor deposition) z zastosowaniem częstotliwości radiowej i mikrofalowej. Optymalizacja parametrów procesu umożliwiła nanoszenie jednorodnych powłok na stali AISI 316 L Warstwy zostały wytworzone przy wykorzystaniu różnych mieszanin gazów (metanu - CH4 albo metanu z argonem - CH4/Ar). Analiza morfologii i struktury uzyskanych powłok przeprowadzona została z wykorzystaniem technik: mikroskopu optycznego, skaningowego mikroskopu elektronowego (SEM) i mikroskopu sił atomowych (AFM). Do identyfikacji składu fazowego wytwarzanych warstw zastosowano spektroskopię ramanowską. W pracy tej zostały opisane szczegóły eksperymentu oraz uzyskane wyniki.

EN

Carbon films were prepared in microwave and radio frequency plasma reactor using dual frequency method (MW/RF PCVD -microwave and radio frequency plasma chemical vapour deposition). The parameters of the deposition were optimised to get uniform films on the stainless steel AISI 316 L. These films were obtained from different mixtures of gases (methane - CH4 or methane/argon- CH4/Ar). Optical microscopy, scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) techniques were used to analyse the morphology and structure of deposited layers. Raman spectroscopy was performed to identify phases present in the films. In this paper experimental details and results were described.

Słowa kluczowe

PL

warstwy węglowe; technika MW/RF PCVD; nanokrystaliczny diament

EN

carbon layers; MW/RF PCVD technique; nanocrystalline diamond

• Wydawca: Polskie Stowarzyszenie Biomateriałów
• Czasopismo: Inżynieria Biomateriałów
• Rocznik: 2005
• Tom: R. 8, nr 43-44
• Strony: 28--31
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., rys.

Twórcy

autor

Kaczorowski W.

• Centrum Doskonałości NANODIAM, Zakład Inżynierii Biomedycznej, Instytut Inżynierii Materiałowej, Politechnika Łódzka

autor

Niedzielski P.

• Centrum Doskonałości NANODIAM, Zakład Inżynierii Biomedycznej, Instytut Inżynierii Materiałowej, Politechnika Łódzka

autor

Mitura S.

• Centrum Doskonałości NANODIAM, Zakład Inżynierii Biomedycznej, Instytut Inżynierii Materiałowej, Politechnika Łódzka

Bibliografia

• [1] J. Bolton, X. Hu: In vitro corrosion testing of PVD coatings applied to a surgical grade Co-Cr-Mo alloy, Journal of Materials Science: Materials in Medicine 13 (6), June 2002, 567-574.
• [2] Y. Ozmen, A. Tanaka, T. Sumiya: The effect of humidity on the tribological behavior of diamond-like carbon (DLC) film coated on WC-Co by physical vapor deposition method, Surface and Coatings Technology 133-134 (2000) 455-459.
• [3] D. Liu, T. Ma, S. Yu, Y. Xu and X. Yang: Plasma-assisted CVD of hydrogenated diamond-like carbon films by low-pressure dielectric barrier discharges Journal Physic D 34, 2001,1651-1656.
• [4] A. Grill, B. S. Meyerson, V.V. Patel: Diamondlike carbon films by rf plasma assisted chemical vapor deposition from acetylene Journal of research and Development, Volume 34, Number 6, (1990) 849-852.
• [5] D.A. LaVan, R.F. Padera, T.A. Friedmann, J.P. Sullivan, R. Lan- ger, D.S. Kohane: In vivo evaluated of tetrahedral amorphous carbon, Biomaterials 26 (2005) 465-473.
• [6] P. Yang, S.C.H. Kwok, R.K.Y. Fu, Y.X. Leng, G.J. Wan, N. Hu- ang, Y. Leng, P. Chu: Structure and properties of annealed amorphous hydrogenated carbon (a-C:H) films for biomedical applications, Surface and Coatings Technology 177-178 (2004) 747-751.
• [7] Mitura S., Mitura A., Niedzielski P.: Nanocrystalline diamond coatings, J Chaos, Solitons and Fractals 10 (1999) 2165-2177.
• [8] S. Mitura, P. Niedzielski, D. Jachowicz, M. Langer, J. Marciniak, A. Stanishevsky, E. Tochitsky, P. Louda, P. Couvrat: Influence of carbon coatings orings on the properties important for biomedical application, Diamond and related Materials 5 (1996) 1185- 1188.