Stemplowanie szkieł - tania metoda formowania struktur optycznych

• Autorzy: Kujawa I. , Buczyński R. , Duszkiewicz J. , Lechna A. , Pysz D. , Stępień R.

Warianty tytułu

EN

Hot embossing - an inexpensive formation method for optical structures

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Wytwarzanie złożonych struktur w skali mikro może być realizowane na wiele sposobów, np. poprzez obróbkę mikromechaniczną, epitaksję, procesy litograficzne i jonowe oraz wiele innych dostępnych technik. Większość z nich jest droga i czasochłonna. Stemplowanie na gorąco jest natomiast procesem stosunkowo tanim i dostosowanym do masowej produkcji, stanowi więc ciekawą alternatywę. W artykule przedstawiamy krótki opis tej metody replikacji oraz nasze wstępne prace dotyczące rozwijania tej technologii dla szkieł dopasowanych do zakresu średniej podczerwieni.

EN

The fabrication of microstructures can be performed by several procedures including mechanical micromachining, lithographic processes, epitaxy, ions technology, and many other different available techniques. Most of them are cost- and time-consuming methods. Hot embossing (HE) is a profi table alternative to these micro replication processes, because it's a low cost method, which is adequate for mass production of a wide range of structures. In the article, we present the short description of this replication method and the results of our preliminary works in developing of the hot-embossing process in the case of multicomponent glasses well fitted for the NIR region.

Słowa kluczowe

PL

wytwarzanie mikrostruktur; mikropowielanie; stemplowanie na gorąco; szkło wieloskładnikowe; podczerwień

EN

fabrication of microstructures; microreplication; hot-embossing; multicomponent glass; NIR

• Wydawca: Polskie Towarzystwo Ceramiczne
• Czasopismo: Materiały Ceramiczne
• Rocznik: 2012
• Tom: T. 64, nr 2
• Strony: 181--187
• Opis fizyczny: Bibliogr. 16 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Kujawa I.

autor

Buczyński R.

autor

Duszkiewicz J.

autor

Lechna A.

autor

Pysz D.

autor

Stępień R.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, Laboratorium Szkła, ul. Wółczyńska 133, 01-919 Warszawa,

Bibliografia

• [1] Becker H., Heim U.: ELSEVIER - Sensors and Actuators, 83, (2000), 130-135.
• [2] Chen Ch. L., Jen F., Tamkang J.: Sci. Eng., 7, 1, (2004), 5-9.
• [3] Heckele M. Schomburg W. K.: J. Micromech. Microeng., 14, (2004), 1-14.
• [4] He Y., Fu J.-Z, Chen Z.-Ch.: J. Micromech. Microeng., 17, (2007), 2420-2425.
• [5] Worgull M.: Hot Embossing: Theory and Technology of Microreplication (Micro and Nano Technologies, William Andrew), (2009).
• [6] Zhang X. H., Guimond Y., Bellec Y.: J. Non-Cryst. Solids, 326-327, (2003), 519-523.
• [7] Shan X.C., Ikehara T., Murakoshi Y., Maeda R.: ELSEVIER - Sensors and Actuators A, 119, (2005), 433-440.
• [8] Velten T., Schuck H., Haberer W., Bauerfeld F.: Int. J. Adv. Manuf. Technol., 47, 1-4, (2010), 73-80.
• [9] Hocheng H., Wen T.T.: Journal of Achievements in Materials and Manufacturing Engineering, 28, (2008), 79-82.
• [10] Pan C.T., Wu T.T., Chen M.F., Chang Y.C., Lee C.J., Huang J.C.: ELSEVIER - Sensors and Actuators A, 141, (2008), 422-431.
• [11] Rabe T., Kuchenbecker P., Schulz B., Schmidt M.: Inter. J. App. Ceram. Tech., 4, 1, (2007), 38–46.
• [12] Shan X., Maw H.P., Ling S.H., Lam Y.C.: Microsystem Technologies, 15, 8, (2008), 1225-1232.
• [13] http://eom.umicore.com/en/optics/products/chalcogenideGlass/gasir/show_GASIR3.pdf
• [14] Guillevic E., Zhang X., Pain T., Calvez L., Adam J.L., Lucas J., Guilloux-Viry M., Ollivier S., Gadret G.: Opt. Materials, 31, (11), (2009), 1688-1692.
• [15] http://www.newport.com/Infrared-Lenses/381068/1033/catalog.aspx
• [16] http://www.newport.com/rmo3