Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
Tytuł artykułu
Autorzy
Identyfikatory
Warianty tytułu
Surface acoustic wave quartz resonator for applications in gas sensors
Języki publikacji
Abstrakty
Przedstawiono właściwości rezonatora kwarcowego z akustyczną falą powierzchniową (AFP) przeznaczonego do zastosowań w czujnikach gazowych. Na częstotliwości ok. 197 MHz uzyskano tłumienność wtrącenia ok. 12 dB i dobroć rezonatora obciążonego ok. 14000. Stwierdzono, że warstwa SiO2 o grubości 50 nm zabezpiecza rezonator przed agresywnym wpływem środowiska. Rezonator z warstwą adsorpcyjną trójetanoloaminy zmodyfikowanej kwasem borowym zastosowano do pomiarów stężenia SO2.
Properties of a quartz surface acoustic wave (SAW) resonator for applications in gas sensors are presented. At a frequency of about 197 MHz, insertion loss and loaded quality factor of about 12 db and 14 000, respectively, were obtained. It was found that SiO2 layer of 50 nm thick is sufficient for the resonator protection against aggressive effect of an environment. The resonator with an adsorption layer of triethanolamine modified with boric acid was used for SO2 concentration measurements.
Wydawca
Rocznik
Tom
Strony
45--47
Opis fizyczny
Bibliogr. 3 poz., rys. tab.
Twórcy
autor
- Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, Warszawa
autor
- Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych, Warszawa
Bibliografia
- 1. McGill R.A. et al.: Performance optimization of surface acoustic wave chemical sensors. IEEE Trans, on UFFC, vol. 45, no 5, 1998, pp. 1370-1380.
- 2. Soluch W.: Scattering analysis of two-port SAW resonators. lEEE Trans. on UFFC, vol. 48, no 3, 2001, pp. 769-772.
- 3. Quin S. et al.: The sensitivity to SO2 of the SAW gas sensor with triethanolamine modified with boric acid. Sensors and Actuators B, vol. 66, 2000, pp. 240-242.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-article-AGH1-0001-0082