Resonance phenomena in micro/nanoelectromechanical systems

• Autorzy: Foryś A. , Foryś A. S.

Warianty tytułu

PL

Zjawiska rezonansowe w układach mikro/nanoelektromechanicznch

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono pewne aspekty nieliniowości w mikro/nanoukładach elektromechanicznych (MEMS/NEMS). Ze względu na duże odkształcenia mikro/nanobelek nieliniowy opis jest konieczny. W szczególności do równania ruchu belki wprowadzono wyraz opisujący nieliniową bezwładność. Podano wyniki obliczeń numerycznych dla krzywych rezonansowych oraz obszarów niestateczności. Rezultaty przedstawiono na wykresach.

EN

In the paper, some aspects of nonlinearity of micro/nanoelectromechanical systems (MEMS/ NEMS) are presented. Because of great values of strains of micro/nanobeams the nonlinear description is necessary. Particularly, the nonlinear inertia term is added to equation relating to motion of the beam. Numerical calculations of resonance curves and instability regions are given. Results are presented on graphs.

Słowa kluczowe

PL

rezonans parametryczny; stateczność; MEMS; NEMS; nieliniowość

EN

parametric resonance; stability; MEMS; NEMS; nonlinearities

• Wydawca: Wydawnictwo Politechniki Krakowskiej im. Tadeusza Kościuszki
• Czasopismo: Czasopismo Techniczne. Nauki Podstawowe
• Rocznik: 2013
• Tom: R. 110, z. 1-NP
• Strony: 3--10
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., wz., il.

Twórcy

autor

Foryś A.

• Institute of Physics, Faculty of Physic, Mathematics and Computer Science, Cracow University of Technology

autor

Foryś A. S.

• Institute of Physics, Faculty of Physic, Mathematics and Computer Science, Cracow University of Technology

Bibliografia

• [1] De Martini B., Moehlis J.,Turner K., Rhoads J., Shaw S., Zhang W., Modelling of parametrically excited microelectromechanical oscillator dynamics with application to filtering, IEEE Sensor Conf., Irvine, CA, 2005, 345-348.
• [2] Zhang W., Turner K., A mass sensor based on parametric resonance, Solid – State Sensor, Actuator and Microsystems, Workshop Hilton Head Island, South Caroline, June 2004.
• [3] Zhang W., Baskaran R., Turner K., Nonlinear behavior of a parametric resonance – based mass sensor, Proceedings of IMECE 2002, ASME Int. Mech. Eng. Congress & Exposition. Nov. 2002, New Orleans, Louisiana.
• [4] Rhoads J., Shaw S., Turner K., The nonlinear response of resonant microbeam systems with purely-parametric electrostatic actuation, J. Micromech. Microeng., 16, 2006, 890-899.
• [5] De Martini B., Rhoads J., Turner K., Rhoads S., Moehlis J., Linear and nonlinear tuning of parametrically excited MEMS oscillators, Journal of Microelectromechanical Systems, 16, 2007, 310-318.
• [6] Rhoads J., Shaw S., Turner K., Moehlis J., De Martini B., Zhang W., Generalized parametric resonance in electrostatically actuated microelectromechanical oscillators, Journal of Sound and Vibration 296, 2006, 797-829.
• [7] Болотин В.В., Динамическая устойчивость упругих систем, ГИТТЛ, Москва 1956.
• [8] Foryś A., Optymalizacja układów mechanicznych w warunkach rezonansu parametrycznego oraz w rezonansach autoparametrycznych, Monografia 199, Politechnika Krakowska, Kraków 1996.