Rezystancyjne czujniki wilgotności oparte na rozwirowywanych szkliwach krzemowych i stabilizowanej ceramice cyrkonowej

• Autorzy: Wróbel E. , Kowalik P. , Waczyński K.

Warianty tytułu

EN

Resistive humidity sensors based on spin-on silicate glasses and stabilized zirconia ceramics

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Poniższy artykuł przedstawia badania nad zastosowaniem cienkich warstw rozwirowywanych szkliw fosforokrzemowych oraz stabilizowanej ceramiki cyrkonowej do wytwarzania rezystancyjnych czujników wilgotności. Artykuł zawiera wyniki pomiarów stałoprądowych (zależność rezystancji struktury od wilgotności oraz odpowiedź czujnika na skok wilgotności) wytworzonych struktur. Pomiary miały na celu stwierdzenie, czy użyte w badaniach materiały można zastosować w czujnikach wilgotności.

EN

The article below shows he investigation on application of thin films spin-on phosphorosilicate glass and stabilized zirconium ceramics in construction of humidity sensors. The paper presents the results of DC measurements (dependence of the resistance of the structure from humidity and response of the sensor to increase humidity) of manufactured structures. The measurements were designed to determine whether the materials used in the study can be used in humidity sensor.

Słowa kluczowe

PL

struktura warstwowa; czujnik wilgotności; szkliwo fosforokrzemowe; ceramika cyrkonowa

EN

layered structure; humidity sensor; phosphosilicate glass; zirconia ceramics

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2014
• Tom: R. 90, nr 9
• Strony: 98--100
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Wróbel E.

• Politechnika Śląska, Instytut Elektroniki, ul. Akademicka 16, 44-100 Gliwice

autor

Kowalik P.

• Politechnika Śląska, Instytut Elektroniki, ul. Akademicka 16, 44-100 Gliwice

autor

Waczyński K.

• Politechnika Śląska, Instytut Elektroniki, ul. Akademicka 16, 44-100 Gliwice

Bibliografia

• [1] Waczyński K. i inni, Sposób wytwarzania rozwirowywanego źródła arsenu i fosforu do dyfuzji planarnej w krzemie, Patent PRL Nr 151167, Warszawa 1991
• [2] Kowalik P., Wróbel E., Selektywna metalizacja ogniwa słonecznego, Przegląd Elektrotechniczny, 89 (2013), nr 10, 103-104
• [3] Lee E.K. at all, Self-Aligned Ni-P Ohmic Contact Scheme for Silicon Solar Cells by Electroless Deposition, Electronic Materials Letters, Vol. 8, No. 4 (2012), 391-395
• [4] Kończak S. i inni, Grubowarstwowe czujniki gazu oparte na stabilizowanych warstwach cyrkonowych, Elektronika, 2/1997
• [5] Głuszek P., Procesorowy higrometr punktu rosy o podwyższonej dokładności, Elektronika 4/1996.