Badanie chropowatości powierzchni gładkich za pomocą skaterometru kątowego. Cz. 2, Metodyka pomiaru : wyniki pomiarowe wybranych powierzchni

• Autorzy: Pawlata A.

Identyfikatory

DOI

10.5604/12345865.1145432

Warianty tytułu

EN

Examination of smooth surfaces roughness using angle scatterometer. Part 2, The experimental procedure : the measurement results of chosen surfaces

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule opisano metodykę pomiaru parametrów chropowatości powierzchni za pomocą zbudowanego w IOE WAT zautomatyzowanego skaterometru kątowego. Zaprezentowano wyniki pomiarowe dla trzech wybranych polerowanych powierzchni: z krzemu, z germanu oraz ze stali nierdzewnej. Przedstawiono badania porównawcze wykonane za pomocą scatteroscope SCAT-4. Oszacowano powtarzalność pomiaru i zakres pomiarowy dla skaterometru kątowego.

EN

The experimental procedure for measurements of smooth surface roughness parameters using automated angle scatterometer, built at the Institute of Optoelectronics (IOE), is described. The results of measurements and their analysis for three chosen polished surfaces: silicon, germanium, and stainless steel are presented. The comparative investigations using scatteroscope SCAT-4 are performed. The repeatability and measurement range for built at IOEangle scatterometer is estimated.

Słowa kluczowe

PL

chropowatość powierzchni; rozproszenie; funkcja BSDF; sygnatura; skaterometr

EN

surface roughness; scattering; BSDF function; signature; scatterometer

• Wydawca: Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
• Czasopismo: Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej
• Rocznik: 2015
• Tom: Vol. 64, nr 1
• Strony: 59--78
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., tab., wykr.

Twórcy

autor

Pawlata A.

• Wojskowa Akademia Techniczna, Instytut Optoelektroniki, 00-908 Warszawa, ul. gen. S. Kaliskiego 2

Bibliografia

• [1] TMA Technologies, Inc. TMA CASI Scatterometer System, Technical Information, USA.
• [2] Cheever D.R., Cady F.M., Klicker K.A., Stover J.C., Design review of a unique complete angle scatter instrument (CASI), Proceedings of the SPIE, vol. 818, 1987.
• [3] Stover J.C., Optical Scattering - measurement and analysis, SPIEOptical Engineering Press, 1995.
• [4] Pawlata A., Zautomatyzowany skaterometr kątowy do badania chropowatości powierzchni gładkich, IOE, Sprawozdanie roczne nr 2/2008.
• [5] Chabros W., Scatteroscope for testing polished surfaces, Proceedings of the SPIE, vol. 5064, 2003.

Uwagi

PL

Praca była realizowana z PBW858.