Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
Identyfikatory
Warianty tytułu
Examination of smooth surfaces roughness using angle scatterometer. Part 2, The experimental procedure : the measurement results of chosen surfaces
Języki publikacji
Abstrakty
W artykule opisano metodykę pomiaru parametrów chropowatości powierzchni za pomocą zbudowanego w IOE WAT zautomatyzowanego skaterometru kątowego. Zaprezentowano wyniki pomiarowe dla trzech wybranych polerowanych powierzchni: z krzemu, z germanu oraz ze stali nierdzewnej. Przedstawiono badania porównawcze wykonane za pomocą scatteroscope SCAT-4. Oszacowano powtarzalność pomiaru i zakres pomiarowy dla skaterometru kątowego.
The experimental procedure for measurements of smooth surface roughness parameters using automated angle scatterometer, built at the Institute of Optoelectronics (IOE), is described. The results of measurements and their analysis for three chosen polished surfaces: silicon, germanium, and stainless steel are presented. The comparative investigations using scatteroscope SCAT-4 are performed. The repeatability and measurement range for built at IOEangle scatterometer is estimated.
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
59--78
Opis fizyczny
Bibliogr. 5 poz., tab., wykr.
Twórcy
autor
- Wojskowa Akademia Techniczna, Instytut Optoelektroniki, 00-908 Warszawa, ul. gen. S. Kaliskiego 2
Bibliografia
- [1] TMA Technologies, Inc. TMA CASI Scatterometer System, Technical Information, USA.
- [2] Cheever D.R., Cady F.M., Klicker K.A., Stover J.C., Design review of a unique complete angle scatter instrument (CASI), Proceedings of the SPIE, vol. 818, 1987.
- [3] Stover J.C., Optical Scattering - measurement and analysis, SPIEOptical Engineering Press, 1995.
- [4] Pawlata A., Zautomatyzowany skaterometr kątowy do badania chropowatości powierzchni gładkich, IOE, Sprawozdanie roczne nr 2/2008.
- [5] Chabros W., Scatteroscope for testing polished surfaces, Proceedings of the SPIE, vol. 5064, 2003.
Uwagi
PL
Praca była realizowana z PBW858.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-a9a9da5f-3b95-41b9-8350-dd53702c3aa1