Analiza dokładności pomiarów nanometrycznych wzorców mikrogeometrii powierzchni za pomocą mikrointerferometru i profilometru stykowego

• Autorzy: Ślusarski Ł.

Identyfikatory

DOI

10.5604/01.3001.0012.8503

Warianty tytułu

EN

Measurement accuracy analysis for microgeometry nanostandards with microinterferometer and stylus profilometer

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W pracy zostały zbadane i przeanalizowane możliwości pomiarowe Samodzielnego Laboratorium Długości GUM w obszarze pomiarów wzorców wysokości nierówności powierzchni (o wysokości nierówności poniżej 1 μm) - tzw. nanowzorców, charakteryzujących powierzchnię w dwóch (2D) i trzech wymiarach (3D). Pomiary wykonano za pomocą mikrointerferometru oraz profilometru stykowego. W toku pomiarów określono możliwy dolny zakres pomiarowy i niepewność dla obu stanowisk.

EN

The goal of the work, described in this paper, was to examine and analyse measurement capabilities of GUM Length and Angle Department in measurements of step height/depth standards with the values below 1 μm (nanostandards), with 2D, and 3D surface characteristics. Measurements were performed with microinterforometer and stylus profilometer.

Słowa kluczowe

PL

nanometrologia; wzorce schodkowe; mikrointerferometr; profilometr stykowy

EN

nanometrology; depth/height standards; microinterferometry; contact profilometry

• Wydawca: Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
• Czasopismo: Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej
• Rocznik: 2018
• Tom: Vol. 67, nr 4
• Strony: 139--147
• Opis fizyczny: Bibliogr. 5 poz., rys., fot., tab., wykr.

Twórcy

autor

Ślusarski Ł.

• Główny Urząd Miar, Samodzielne Laboratorium Długości, ul. Elektoralna 2, 00-139 Warszawa

Bibliografia

• [1] Wieczorowski M., Metrologia nierówności powierzchni: metody i systemy, Szczecin: ZA POL, 2013, s. 142-145.
• [2] Smereczyńska B., Sałbut L., Linnik’s microinterferometer with a computer analysis of interference fringes for calibration of roughness standards, 1st International Conference Euspen (Brema), 1999.
• [3] Wieczorowski M., Metrologia nierówności powierzchni: metody i systemy, Szczecin: ZA POL, 2013, s. 70-80.
• [4] Specyfikacja geometrii wyrobów (GPS) – Struktura geometryczna powierzchni: metoda profilowa; Wzorce-Część 1: Wzorce materialne, Polska Norma PN-EN ISO 5436-1, s. 14.
• [5] Wyrażanie niepewności pomiaru. Przewodnik, Warszawa: GUM, 1999, s. 14-15.

Uwagi

1. Opracowanie rekordu w ramach umowy 509/P-DUN/2018 ze środków MNiSW przeznaczonych na działalność upowszechniającą naukę (2019).

2. Źródło finansowania-praca badawcza w ramach działalności Laboratorium Długości Głównego Urzędu Miar.

3. Artykuł opracowany na podstawie referatu wygłoszonego na konferencji „XI Szkoła-Konferencja MWK ‘17-Metrologia Wspomagana Komputerowo”, Waplewo, 23-26 maja 2017 r.