Optymalizacja konstrukcyjna układu interferometrycznego do pomiaru mikroodchyleń kątowych

• Autorzy: Dobosz M.

Identyfikatory

DOI

http://dx.doi.org/10.17814/mechanik.2016.11.497

Warianty tytułu

EN

Optimization of the design of the interferometer for angular micro deflection measurement

• Konferencja: XVI Krajowa VII Międzynarodowa Konferencja Naukowo-Techniczna „Metrologia w technikach wytwarzania”
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono metodę i interferencyjny czujnik do pomiaru wzajemnych mikroodchyleń kątowych wiązki laserowej i czujnika. Przeanalizowano wybrane konfiguracje układów optycznych. Oceniono wpływ błędów wykonania elementów optycznych w wybranym układzie interferometru.

EN

Method and the interference sensor for measuring micro-deviations of a laser beam in relation to the sensor is presented. Selected configurations of optical system are analyzed. Influence of fabrication errors in optical components in the selected layout is presented.

Słowa kluczowe

PL

pomiary odchyleń kątowych; interferometr laserowy

EN

measurement of angular deflection; laser interferometer

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Mechanik
• Rocznik: 2016
• Tom: R. 89, nr 11
• Strony: 1696--1699
• Opis fizyczny: Bibliogr. 12 poz., rys.

Twórcy

autor

Dobosz M.

• Politechnika Warszawska

Bibliografia

• 1. http://www.photonicsonline.com/article.mvc/Measuring-Laser-Position-Pointing-Stability-0002Measuring, “Laser Position & Pointing Stability – Application Note”, Photon Inc. Precision Beam Profiling, Photonics Online, 2009.
• 2. http://www.ophiropt.com/laser-measurement instruments/beam-profilers/products/slit-based-profilers/nanoscan.
• 3. Putman C.A.J., De Grooth B.G., van de Hulst N.F., Greve J. “A detailed analysis of the optical beam deflection technique for use in atomic force microscopy”. Appl. Phys. Vol. 72 (1992): pp. 6–12.
• 4. Meyer G., Amer N. M. “Optical beam deflection atomic force microscopy: The NaCl(001) surface”. Appl. Phys. Lett. Vol. 56, pp. 2100–2101.
• 5. Levesque M., Mailloux A., Morin M., Galarneau P., Champagne Y., Plomteux O., Tiedtke M. “Laser pointing stability measurements”. Proc. SPIE. Vol. 2870 (1996): pp. 216–224.
• 6. “Lasers and laser-related equipment – Test methods for laser beam parameters – Beam positional stability”, International Standard ISO 11670, 2003.04.01.
• 7. Villatoro J., García-Valenzuela A. “Measuring optical power transmission near the critical angle for sensing beam deflection”. Appl. Opt. Vol. 37, No. 28 (1998): pp. 6649–6653.
• 8. García-Valenzuela A., Sandoval-Romero G.E., Sánchez-Pérez C. “High-resolution optical angle sensors: approaching the diffraction limit to the sensitivity”. Appl. Opt. Vol. 43, No. 22 (2004): pp. 4311–4321 and references therein.
• 9. García-Valenzuela A., Peña-Gomar M., Villatoro J. “Sensitivity analysis of angle sensitive detectors based on a film resonator”. Opt. Eng. Vol. 42 (2003): pp. 1084–1092 and references therein.
• 10. Gray J., Thomas P., Zhu X.D. “Laser pointing stability measured by an oblique-incidence optical transmittance difference technique”. Review of Scientific Instruments. Vol. 72, No. 9 (2001): pp. 3714–3717.
• 11. Dobosz M., Iwasińska-Kowalska O. “Interference method for ultra-precision measurement and compensation of laser beam angular deflection”. Appl. Opt. Vol. 53, No. 1 (2014): pp. 111–122.
• 12. Dobosz M., Iwasińska-Kowalska O. Polish patent application P-397925 (in Polish).