Współczesne sensory mechano-elektryczne

• Autorzy: Chwaleba A. , Michalski A.

Warianty tytułu

EN

Modern mechano-electrical sensors

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono syntetyczny przegląd współczesnych sensorów mechano — elektrycznych wykorzystywanych w szeroko rozumianych systemach kontrolno — pomiarowych. Dokonano podziału istniejących konstrukcji sensorów ze względu na stopień zintegrowania z układami kondycjonowania sygnałów oraz ze względu na technikę wytwarzania. Główna uwaga została skoncentrowana na sensorach krzemowych, piezoelektrycznych cienkowarstwowych oraz światłowodowych ze względu na ich dominujące znaczenie w technice pomiarowej. Omówiono podstawowe konstrukcje oraz najnowsze tendencje rozwojowe.

EN

Paper presents a synthetic review of modern sensors uses in a measurement systems dedicated for mechanical quantities. Authors divided presented sensors into several groups, taking in to consideration from one side the level of integration with a conditioning circuits and from the other side the technology of production. The main attention has been focused on silicon sensors, think films piezoelectric sensors and light fibre sensors because of their dominant position on the market. The basic structures and new trends of sensors have been discussed.

Słowa kluczowe

PL

sensory; systemy kontrolno-pomiarowe; konstrukcja

EN

sensors; mechanical quantities

• Wydawca: Centralny Ośrodek Badawczo-Rozwojowy Aparatury Badawczej i Dydaktycznej, COBRABiD sp. z.o.o
• Czasopismo: Aparatura Badawcza i Dydaktyczna
• Rocznik: 2000
• Tom: T. 5, nr 1
• Strony: 19--38
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Chwaleba A.

• Instytut Podstaw Elektroniki, Wojskowa Akademia Techniczna, Warszawa

autor

Michalski A.

• Instytut Podstaw Elektroniki, Wojskowa Akademia Techniczna, Warszawa

Bibliografia

• [1] A.Chwaleba, J.Cząjewski: Przetworniki pomiarowe i defektoskopowe, OWPW, Warszawa 1998.
• [2] J.Dziuban: Micromechanics on silicon, MST News Poland 3/1996.
• [3] Z.Moroń: Współczesny świat nie może funkcjonować bez czujników, Elektronizacja nr 7-8/1998.
• [4] R.S.Jachowicz: Technologie Mikromechaniczne do konstrukcji mikroczujników i mikro-siłowników, Elektronizacja nr 11/96.
• [5] J.W. Gardner: Microsensors, principles and applications, J.Wiley&Sons, 1994, England.
• [6] S.M. Sze: Semiconductor Sensors, J.Wiley&Sons, 1994, New York.
• [7] M.Hutyra, M.Dubavec: Czujniki ciśnienia zmembranąceramiczną, Elektronizacja nr 2/95.
• [8] S.Skocki: Czujniki niskich ciśnień, Elektronizacja nr 7/93.