Falowodowy mikrointerferometr siatkowy do pomiaru mikroprzemieszczeń w płaszczyźnie próbki

• Autorzy: Sałbut Leszek

Identyfikatory

DOI

10.15199/62.2024.11.19

Warianty tytułu

EN

Waveguide grating microinterferometer for in-plane microdisplacements measurement

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono podstawy fizyczne metody interferometrii siatkowej oraz jej zalety i ograniczenia. Zaprezentowano koncepcję falowodowego mikrointerferometru siatkowego przeznaczonego do analizy rozkładów przemieszczeń w płaszczyźnie mikroelementów lub w niewielkich obszarach pomiarowych, np. wokół złączy lub pęknięć. Omówiono budowę falowodowej głowicy mikrointerferometru siatkowego wraz z analizą wybranych parametrów konstrukcyjnych, optycznych i metrologicznych. Na zakończenie przedstawiono przykładowe zastosowania mikrointerferometru w badaniach mikroelementów MEMS/MOEMS oraz propagacji pęknięć w węglikach spiekanych i stopach aluminium.

EN

The phys. basis of the grating (moiré) interferometry method and its advantages and limitations were presented. The concept of a waveguide grating microinterferometer designed for the anal. of displacement distributions in the plane of microelements or in small measurement areas, such a around joints or cracks, was presented. The construction of the waveguide grating microinterferometer head was described, together with the anal. of basic design, optical and metrological parameters. Examples of the microinterferometer’s use in mech. tests of MEMS/MOEMS microelements and in studies of crack propagation in various materials were presented.

Słowa kluczowe

PL

pomiary w polu widzenia; interferometria siatkowa; pomiar mikroprzemieszczeń w płaszczyźnie badanego obiektu

EN

full-field optical methods; grating interferometry; in-plane micro-displacements measurement

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przemysł Chemiczny
• Rocznik: 2024
• Tom: T. 103, nr 11
• Strony: 1320--1323
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., il., rys.

Twórcy

autor

Sałbut Leszek

• Instytut Mikromechaniki i Fotoniki, Politechnika Warszawska, ul. Św. Andrzeja Boboli 8, 02-525 Warszawa

• https://orcid.org/0000-0003-1390-1708+

Bibliografia

• [1] D. Post, B. Han, P. Ifju, High sensitivity Moiré interferometry, Springer-Verlag, Berlin 1994.
• [2] K. Patorski, M. Kujawińska, L. Sałbut, Interferometria laserowa z automatyczną analizą obrazu, OWPW, Warszawa 2023.
• [3] W. Osten (red.), Optical inspection of microsystems, CRC Press, 2019.
• [4] C. A. Walker (red.), Handbook of Moiré measurement, Institute of Physics Publishing, Bristol, Philadelphia 2004.
• [5] L. Sałbut, Optical Eng. 2002, 41, nr 3, 626.
• [6] R. Czarnek, Optics Laser Eng. 1990, 13, 93.