Interferometer-based scanning probe microscope for high-speed, long-range, traceable measurements

• Autorzy: Vorbringer-Dorozhovets N. , Manske E. , Jäger G.

Warianty tytułu

PL

Mikroskop z sondą skanującą na bazie interferometru do szybkich spójnych pomiarów małych przemieszczeń o dużym zakresie

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

The specialty of the metrological SPM-head is the combined deflection detection system for simultaneous acquisition of bending, torsion and position of the cantilever with one measuring beam. The deflection system comprises a beam deflection and an interferometer in such a way that measurements of the cantilever displacement are traceable to the SI unit metre. Integrated into a NPM machine scans with a resolution of 0.1 nm over a range of 25 mm × 25 mm are possible.

PL

W artykule przedstawiono wyniki dotyczące opracowanej i zrealizowanej w Ilmenau University of Technology (Niemcy) maszyny Nano-pozycjonującej (NPM), która zapewnia nanometrową rozdzielczość oraz niepewność 3D pozycjonowania oraz pomiaru w zakresie 25 mm × 25 mm × 5 mm. Jednym ze składowych elementów tej maszyny, od którego zależą jej własności metrologiczne, jest mikroskop z sondą skanującą (SPM) na bazie interferometru, którego koncepcję przedstawiono na (rys. 1). Wykonana według tej koncepcji głowica metrologicznego SPM została zintegrowana z NPM maszyny (rys. 2). Osobliwością głowicy SPM jest system dla jednoczesnej akwizycji ugięcia, skręcania i pozycji belki wspornikowej tylko z jednej wiązki światła (rys. 1). Zostały wykonane badania dokładności pozycjonowania i pomiaru przy różnych szybkościach skanowania obiektu badanego od 1 µm/s do 1 mm/s. Przykładowe wyniki skanowania przedstawiono na rys. 3, 4. W celu wyznaczania jakości tych wyników oraz kalibracji SPM został wykorzystany zestaw wzorców wysokości skokowych z Physikalisch-Technische Bundesanstalt – PTB (rys. 6), oraz wykonane w specjalny sposób wzorce testowych wskaźników odniesienia rozstawionych na stosunkowo dużych odległościach (rys. 7). Uzyskane z SPM wyniki pomiarów wzorców wysokości oraz niepewności tych wyników wykazały bardzo dobrą zbieżność z wartościami wielkości tych wzorców (tab. 1). Wyznaczona powtarzalność wyników jest na poziomie poniżej 0.2 nm. Bardzo dobre wyniki uzyskano przy pomiarach testowych wskaźników odniesienia, powtarzalność wyników pomiaru centrów współrzędnych wskaźników wynosi poniżej 5 nm (tab. 2).

Słowa kluczowe

EN

nanopositioning and nanomeasuring machine; metrological scanning probe microscope; SPM; AFM

PL

maszyna nanopozycjonująca i nanopomiarowa; metrologiczny mikroskop z sondą skanującą; SPM; AFM

• Wydawca: Wydawnictwo PAK
• Czasopismo: Pomiary Automatyka Kontrola
• Rocznik: 2014
• Tom: R. 60, nr 2
• Strony: 69--72
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Vorbringer-Dorozhovets N.

• Ilmenau University of Technology, Faculty of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, PO Box 100 565, D-98684 Ilmenau, Germany

autor

Manske E.

• Ilmenau University of Technology, Faculty of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, PO Box 100 565, D-98684 Ilmenau, Germany

autor

Jäger G.

• Ilmenau University of Technology, Faculty of Mechanical Engineering, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, PO Box 100 565, D-98684 Ilmenau, Germany

Bibliografia

• [1] Jäger G., Manske E., Hausotte T. and Büchner H. J.: The Metrological Basis and Operation of Nanopositioning and Nanomeasuring Machine NMM-1. Technisches Messen, vol. 76, pp. 227–234, 2009.
• [2] Manske E., Jäger G., Hausotte T. and Füßl R.: Recent developments and challenges of nanopositioning and nanomeasuring technology. Meas. Sci. Technol., vol. 23, 074001 (10 pp), 2012.
• [3] Dorozhovets N., Hausotte T., Manske E., Jäger G. and Hofmann N.: Metrological scanning probe microscope. Proc. of the SPIE, vol. 6188, 61880L (8 pp), 2006.
• [4] Fujisawa S., Ohta M., Konishi T., Sugawara Y.: Difference between the forces measured by an optical lever deflection and by an optical interferometer in an atomic force microscope. Rev. Sci. Instrum., vol. 65, nr 3, 644-647, 1994.
• [5] Vorbringer-Dorozhovets N., Hausotte T., Manske E., Shen J. C. and Jäger G.: Novel control scheme for a high-speed metrological scanning probe microscope. Meas. Sci. Technol., vol. 22, 094012 (7 pp), 2011.
• [6] Dorozhovets N., Hausotte T., Jäger G. and Manske E.: Application of the metrological scanning probe microscope for high-precision, long-range, traceable measurements. Proc. of the SPIE, vol. 6616, 661624 (7 pp), 2007.
• [7] Hausotte T., Vorbringer-Dorozhovets N., Shen J. C. and Jäger G.: Dimensional metrology in the macroscopic range with subnanometre resolution. Journal of Engineering Manufacture, vol. 227, nr 5, 657-661, 2013.
• [8] DIN EN ISO 5436-1:2000 Geometrical Product Specifications (GPS) - Surface texture: Profile method; Measurement standards - Part 1: Material measures.
• [9] Goj B., Vorbringer-Dorozhovets N., Wystup C., Hoffmann M. and Manske E.: Electromagnetic changer for AFM-tips. Proceedings of the 23rd Micromechanics Europe Workshop, Ilmenau, Germany (4pp), 2012.