Szybki skaner optyczny wykorzystujący sensory konfokalne

• Autorzy: Litwin D. , Czyżewski A. , Galas J. , Kochanowski M. , Sitarek S. , Socjusz M. , Wikliński P.

Warianty tytułu

EN

A Fast optical scanner with confocal sensors

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Do badania kształtów wykorzystywane są różne techniki pomiarowe. Wybór konkretnego typu urządzenia zależy od wielu parametrów, takich jak wielkość i stopień skomplikowania kształtu mierzonego obiektu, jego budowa, żądany czas pomiaru oraz wymagana dokładność. Niniejszy artykuł przedstawia metodykę szybkiego skanowania z wykorzystaniem sensorów konfokalnych, przy czym główny nacisk położono na zminimalizowanie czasu pomiaru przy zachowaniu jego dokładności. Przeprowadzono również prace porównawcze otrzymanych rezultatów z wynikami uzyskanymi za pomocą innych optycznych urządzeń pomiarowych.

EN

There is a large collection of shape characterising measurement systems. Selecting a particular instrument depends on: type of the shape, its configuration and complexity, and required time and accuracy of measurements. The paper demonstrates methodology of fast scanning system equipped with chromatic confocal sensors. A comparative analysis includes measurement results received from other types of profilometers.

Słowa kluczowe

PL

profilometria; sensor konfokalny; analiza sygnału elektrycznego

EN

profilometry; confocal sensor; electric signal analysis

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2013
• Tom: R. 89, nr 7
• Strony: 116--120
• Opis fizyczny: Bibliogr. 8 poz., rys., tab., wykr.

Twórcy

autor

Litwin D.

• Instytut Optyki Stosowanej

autor

Czyżewski A.

• Instytut Optyki Stosowanej

autor

Galas J.

• Instytut Optyki Stosowanej

autor

Kochanowski M.

• Instytut Optyki Stosowanej

autor

Sitarek S.

• Instytut Optyki Stosowanej

autor

Socjusz M.

• Instytut Optyki Stosowanej

autor

Wikliński P.

• Instytut Optyki Stosowanej
• Politechnika Warszawska, Wydział Mechatroniki

Bibliografia

• [1] Creath K., Morales A. „Contact and noncontact profilers.” (D. Malacara (red.), John Wiley and Sons) 1992.
• [2] Patorski K., Kujawińska M., Sałbut L. Interferometria laserowa z automatyczną analizą obrazu. Warszawa: Oficyna Wydawnicza Politechniki Warszawskiej, 2005.
• [3] Y., Wang. „Three - dimensional profiler for supersmooth surface.” Optical Engineering, October 2003: 3013-3016.
• [4] Holst B, Allison W. An atom-focusing mirror. Nature, 997; 390; 244
• [5] Weeks A E, Litwin D, Galas J, Surma B, Piątkowski B, MacLaren D A and Allison W 2007 Accurate surface profilometry of ultrathin wafers Semicond. Sci. Technol. 22 997- 1002
• [6] Galas J, Litwin D, Sitarek S, Surma B, Piatkowski B, Miros A, Interferometric and confocal techniques for testing of silicon wafers. Proc. SPIE, 2006;6188;61880C
• [7] Reinsch Ch., H. „Smoothing by Spline Functions.” Numerische Mathematik, 3 February 1967: 177-183.
• [8] Thomas-Agnan, Christine. „Spline Functions and Stochastic Filtering.” The Annals of Statistics, 1991: 1512-1527.