Termodesorpcja ksenonu implantowanego do krzemu

• Autorzy: Turek M. , Droździel A. , Pyszniak K. , Wójtowicz A. , Yushkevich Y.

Identyfikatory

DOI

10.15199/48.2018.07.40

Warianty tytułu

EN

Thermal desorption of xenon implanted into silicon

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Artykuł prezentuje wyniki badań termodesorpcji Xe zaimplantowanego do krzemu (energie 80 keV, 100 keV oraz 150 keV). Zaobserwowano gwałtowne emisje Xe w temperaturach od 1060 K do ~1600 K, pochodzące najprawdopodobniej od uwalniania gazu zgromadzonego w aglomeratach we wnękach w matrycy Si. Oszacowano wartości energii aktywacji desorpcji – jest ona rzędu 3 do 3,4 eV w rozpatrywanym zakresie energii implantacji, a więc jest większa niż dla badanych wcześniej lżejszych gazów szlachetnych w matrycy Si.

EN

Studies of the thermal desorption of Xe implanted into Si (wih energies 80 keV, 100 keV and 150 keV) are presented Sudden Xe emission at temperatures ranging from 1060 K up to ~1600 K, probably due to releases of gas bubles agglomerated in Si matrix cavities are observed.Values of deorption activation energy are estimated - it is in the range 3-3.4 eV in the considered implantation energy range, larger than for lighter noble gases implanted into Si.

Słowa kluczowe

PL

spektroskopia termodesorpcyjna; implantacja jonowa; krzem

EN

thermal desorption spectroscopy; ion implantation; silicon

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2018
• Tom: R. 94, nr 7
• Strony: 157--161
• Opis fizyczny: Bibliogr. 32 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Turek M.

• Instytut Fizyki, Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, pl. M. Marii Curie-Skłodowskiej 1, 20-031 Lublin

autor

Droździel A.

• Instytut Fizyki, Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, pl. M. Marii Curie-Skłodowskiej 1, 20-031 Lublin

autor

Pyszniak K.

• Instytut Fizyki, Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, pl. M. Marii Curie-Skłodowskiej 1, 20-031 Lublin

autor

Wójtowicz A.

• Instytut Fizyki, Uniwersytet Marii Curie-Skłodowskiej, pl. M. Marii Curie-Skłodowskiej 1, 20-031 Lublin

autor

Yushkevich Y.

• Joint Institute for Nuclear Research, Joliot- Curie 6, 141980 Dubna, Moscow region, Rosja

Bibliografia

• [1] Chernikov V.N., Ullmaier H., Zakharov A.P., Journal of Nucl. Mat. 694 (1998), 258
• [2] Zibrov M., Gasparyan Yu., , Ryabtsev S., Pisarev A., Physics Procedia 83 (2015), 71
• [3] Kaschny J.R., Fichtener P.F.P., Muecklich A., Nucl. Instrum. Meth. 583 (1998), B136
• [4] Godey S., Sauvage T., Ntsoenzok E., Erramli H., Beaufort M.F., Barbot J.F., Leroy B., J. Appl. Phys. 87 (1999), 2158
• [5] Bruel M., Aspar B, Charlet B., Maleville C., Poumeyrol T., A. Soubie, Auberton-Herve, A.J., Lamure J.M., T. Barge et al. 1995 IEEE International SOI Conference Proceedings p.178
• [6] Kögler R., Peeva A., Lebedev A., Posselt M., Skorupa W., Oezelt G., Hutter H., Behar M., J. Appl. Phys. 94 (2003), 3834
• [7] van Gorkum A.A., Kornelsen E.V., Vacuum 31 (1981), 89
• [8] Atsumi H., Takemura Y., Konishi T., Tanabe T., Shikama T., Journal of Nuclear Materials 438 (2013) S963
• [9] Alimov V.Kh., Tyburska-Püschel B., Lindig S., Hatano Y., Balden M., Roth J., Isobe K., Matsuyama M., Yamanishi T., J. of Nucl. Mater. 420 (2012), 519
• [10] Porosnicu C., Anghel A., Sugiyama K., Krieger K., Roth J., Lungu C.P., Journal of Nuclear Materials 415 (2011), S713
• [11] Pivac B., Milat O., Dubček P., Bernstorff S., Corni F., Nobili C., Tonini R. Phys. Stat. Sol. A 198 (2003), 29
• [12] Morozov O., Zhurba V., Neklyudov I., Mats O., Rud A., Chernyak N., Progolaieva V. Nanoscale Res Lett. 10 (2015), 154
• [13] Chang S., Lin T., Li T., Journal of Nanomaterials 2014, 690498 (2014)
• [14] Godey S., Ntsoenzok E., Sauvage T., van Veen A., Labohm F., Beaufort M.F., Barbot J.F., Materials Science and Engineering B73 (2000), 54
• [15] Oliviero E., David M.L., Beaufort M.F., Barbot J.F., van Veen A. Appl. Phys. Lett., 81 (2002), 4201
• [16] Corni F., Calzolari G., Gambetta F., Nobili C., Tonini R., Zapparoli M., Materials Science and Engineering B71 (2000), 207
• [17] Cerofolini G.F., Calzolari G., Corni F., Frabboni S., Nobili C., Ottaviani G., Tonini R., Phys. Rev. B 61 (2000), 10183
• [18] Lau W.M., Bello I., Huang L. J., Feng X., Vos M., Mitchell I.V., J. Appl. Phys. 74(1993), 7105
• [19] Hanada R., Saito S., Nagata S., Yamaguchi S., Shinozuka T., Fujioka I., Mat. Sci. Forum 196-201 (1995), 1375
• [20] Drozdziel A., Wojtowicz A., Turek M., Pyszniak K., Maczka D., Slowinski B., Yushkevich Y.V., Zuk J. Acta Phys. Pol. A 125 (2014), 1400
• [21] Turek M., Drozdziel A., A. Wójtowicz, J. Filiks, K. Pyszniak, D. Mączka, Y. Yuschkevich (przyjęte do druku w Acta Physica Polonica A)
• [22] vom Felde A., Fink J., Müller-Heinzerling T., Pflüger J., B. Scheerer, Linker G., Phys. Rev. Lett. 53(1984), 922
• [23] Faraci G., Pennisi A.R.,Terrasi A., Phys. Rev. B 38(1988), 13468
• [24] Barbieri P. F., Landers R., and Marques F. C., Appl. Phys. Lett. 90 (2007), 164104
• [25] Ntsoenzok E., Assaf H., Ruault M.O., Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 864 (2005), E7.3.1
• [26] Herbig C., Ahlgren E.H., Schroeder U.A., Martınez-Galera A.J., Arman M.A., Kotakoski J., Knudsen J., Krasheninnikov A.V. and Michely T., Physical Review B 92 (2015), 085429
• [27] Werner M., van den Berg J. A., Armour D. G., Carter G., Feudel T., Herden M., Bersani M., Giubertoni D., Ottaviano L., Bongiorno C., Mannino G., Bailey P., Noakes T. C. Q., Appl. Phys. Lett. 86 (2005), 151904
• [28] Marques F.C., Barbieri P.F., Viana G.A., da Silva D.S., Applied Surface Science 275(2013), 156
• [29] Ziegler J.F., Ziegler M.D., Biersack J.P., Nucl. Instr. Meth. B 268 (2010), 1818
• [30] Turek M., Droździel A., Pyszniak K., Wójtowicz A., Mączka D., Yuschkevich Y., Vaganov Y., J. Żuk Acta Physica Polonica A 127 (2015), 849
• [31] Blackburn R., Metallurgical Review 11 (1966), 159
• [32] Redhead P.A., Vacuum 12 (1962), 203

Uwagi

Opracowanie rekordu w ramach umowy 509/P-DUN/2018 ze środków MNiSW przeznaczonych na działalność upowszechniającą naukę (2018).