Badanie chropowatości powierzchni gładkich za pomocą skaterometru kątowego. Cz. 1, Metoda pomiaru : przyrząd pomiarowy

• Autorzy: Pawlata A.

Identyfikatory

DOI

10.5604/12345865.1145426

Warianty tytułu

EN

Examination of smooth surfaces roughness using angle scatterometer. Part 1, The method of measurement : the measurement instrument

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule opisano podstawowe parametry chropowatości powierzchni. Przedstawiono metodę obliczenia tych parametrów dla powierzchni gładkich na podstawie pomiaru funkcji BSDF charakteryzującej rozproszenie z badanej powierzchni. Opisano zbudowany w IOE WAT zautomatyzowany skaterometr kątowy służący do pomiaru powyższych parametrów.

EN

The basic parameters of surface roughness are described in this article. The method of calculation of these parameters from measurement of BSDF function characterizing scatter from surface is shown. Automated angle scatterometer, built at the Institute of Optoelectronics of the Military University of Technology (IOE MUT), used for measurements of above parameters is described.

Słowa kluczowe

PL

chropowatość powierzchni; rozproszenie; funkcja BSDF; skaterometr

EN

surface roughness; scattering; BSDF function; scatterometer

• Wydawca: Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
• Czasopismo: Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej
• Rocznik: 2015
• Tom: Vol. 64, nr 1
• Strony: 47--58
• Opis fizyczny: Bibliogr. 13 poz., il., rys.

Twórcy

autor

Pawlata A.

• Wojskowa Akademia Techniczna, Instytut Optoelektroniki, 00-908 Warszawa, ul. gen. S. Kaliskiego 2

Bibliografia

• [1] TMA Technologies, Inc. TMA CASI Scatterometer System, Technical Information, USA.
• [2] Schmitt Measurement System, Inc. μScan Scatterometer System, User’s Manual, USA.
• [3] Bennett H.E., Scattering characteristics of optical materials, Optical Engineering, vol. 17, no. 5, 1978.
• [4] Stover J.C., Optical Scattering - measurement and analysis, SPIE Optical Engineering Press, 1995.
• [5] Bennett J.M., Mattson L., Introduction to surface roughness and scattering, Optical Society of America, 1993.
• [6] Church E.L., Zavada J.M., Residual surface roughness of diamond-turned optics, Applied Optics, vol. 14, no. 8, 1975.
• [7] Church E.L., Jenkinson H.A., Zavada J.M., Measurement of the finish of diamond turned metal surfaces by differential light scattering, Optical Engineering, vol. 16, no. 4, 1977.
• [8] Stover J.C., Roughness characterization of smooth machined surfaces by light scattering, Applied Optics, vol. 14, no. 8, 1975.
• [9] ASMEB46.1, 1995.
• [10] Pawlata A., Badanie chropowatości powierzchni za pomocą skaterometru, Biul. WAT, vol. 51, nr 6, 2002.
• [11] Hamamatsu, Photomultiplier tube modules, Technical Information, 2001, Japan.
• [12] Pawlata A., Badanie chropowatości powierzchni metodą analizy kątowego rozkładu natężenia światła rozproszonego, Sprawozdanie z PBW, IOE, 2006.
• [13] Pawlata A., Zautomatyzowany skaterometr kątowy do badania chropowatości powierzchni gładkich, IOE, Sprawozdanie roczne nr 2/2008.

Uwagi

PL

Praca była realizowana z PBW858.