Metoda otrzymywania monokrystalicznych folii krzemowych z wykorzystaniem krzemu porowatego

• Autorzy: Sarnecki J. , Brzozowski A. , Lipiński D.

Warianty tytułu

EN

A method of obtaining monocrystalline silicon foils using porous silicon

• Języki publikacji: PL EN

Abstrakty

PL

Określono warunki i opracowano metodę otrzymywania folii krzemowych o grubości do ~ 100 μm i wymiarach 50 x 50 mm. Metoda ta polega na odrywaniu warstw epitaksjalnych osadzanych na porowatej powierzchni płytki krzemowej typu p+. Opracowano oryginalną metodę odrywania warstwy epitaksjalnej łączącą działanie obniżonego ciśnienia i kąpieli w gorącej wodzie.

EN

A method of obtaining silicon foil with the thickness of up to 100 μm and dimensions 50 x 50 mm was worked out and experimental conditions were determined. This technique consists in the separation of epitaxial layers deposited on the porous surface of the p+ silicon wafer. Such an original method of epitaxial layer separation, combining the effect of low pressure and a bath in hot water, was developed.

Słowa kluczowe

PL

warstwa epitaksjalna; krzem porowaty; CVD; folia krzemowa

EN

epitaxial layer; porous silicon; CVD; silicon foil

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
• Czasopismo: Materiały Elektroniczne
• Rocznik: 2014
• Tom: T. 42, nr 1
• Strony: 24--31
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., rys.

Twórcy

autor

Sarnecki J.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych ul. Wólczyńska 133, 01 - 919 Warszawa

autor

Brzozowski A.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych ul. Wólczyńska 133, 01 - 919 Warszawa

autor

Lipiński D.

• Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych ul. Wólczyńska 133, 01 - 919 Warszawa

Bibliografia

• [1] Lipiński D., Sarnecki J., Brzozowski A., Mazur K.:Krzemowe warstwy epitaksjalne do zastosowań fotowoltaicznych osadzane na krzemie porowatym, Materiały Elektroniczne, 2012, 40/3, 28 - 37
• [2] Yonehara T. and Sakaguchi K.: Novel SOI wafer technology, JSAP International, 2001, .4, 10 - 16
• [3] Weber K. J. et al.: Silicon as a photovoltaic material, Materials Forum, 2004, 27 , 9 - 14
• [4] Otto N. et al., Evolution of the microstructure during annealing of porous silicon multilayers, J. Appl. Phys. 2004, 95, 497 - 503
• [5] Solanki C. S. et al: Porous silicon layer transfer processes for solar cells, Solar Energe Mat., & Solar Cells, 2004, 83, 101 - 113
• [6] Solanki C.S. et al.: Characterization of free-standing thin crystalline films on porous silicon for solar cells, Thin Solid Films, 2004, 451 - 452, 649 - 654,