Układ mikrofluidyczno-mikrofalowy wykonany technologią LTCC (niskotemperaturowa współwypalana ceramika) - prace wstępne

• Autorzy: Jasińska L. , Malecha K.

Identyfikatory

DOI

10.15199/74.2017.4.2

Warianty tytułu

EN

The LTCC (low temperature co-fired ceramics) Microfluidic-microwave module - preliminary studies

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Artykuł prezentuje zagadnienia związane z zastosowaniem tej technologii do wykonywania układu mikroprzepływowego zawierającego zintegrowane obwody mikrofalowe, zamieszczono opis procesu technologicznego LTCC na przykładzie wspomnianego układu mikroprzepływowo-mikrofalowego.

EN

This paper presented technology issue to developing microfluidic device with integrated microwave circuit, description of LTCC microfluidicmicrowave module technological process was described.

Słowa kluczowe

PL

technika grubowarstwowa; mikrosystem; technologia LTCC; układ mikroprzepływowy

EN

thick-layer technology; microsystem; LTCC technology; microflow system

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Wiadomości Elektrotechniczne
• Rocznik: 2017
• Tom: R. 85, nr 4
• Strony: 8--10
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., rys., zdj.

Twórcy

autor

Jasińska L.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej

autor

Malecha K.

• Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej

Bibliografia

• [1] Brown R.L., Polinski P.W., Shaikh A.S. 1994. Manufacturing of microwave modules using low-temperature cofired ceramics. Microwave Symposium Digest, IEEE MTT-S International.
• [2] Csepregi L. 1985. Micromechanics: A silicon microfabrication technology. Microelectronic Engineering, 3, 221–234.
• [3] Golonka L. 2001. Zastosowanie ceramiki LTCC w mikroelektronice. Wrocław.
• [4] Harrisa N.R., Hillb M., Bebbya S., Shenb Y., Whitea N.M., Hawkesc J.J., Coakleyc W.T. 2003. A silicon microfluidic ultrasonic separator, Sensors and Actuators B: Chemical. 95, 425–434.
• [5] Macoiszczyk J., Słobodzian P., Malecha K., Golonka L.J. 2015. Microfluidical microwave reactor for accelerating chemical reactions, Procedia Engineering, Eurosensors, 120, 683–686.
• [6] Malecha K. 2009. Systemy mikroprzepływowe wykonane technologią LTCC. Rozprawa doktorska, Wrocław.
• [7] Słobodzian P., Macioszczyk J., Malecha K., Golonka L. 2016. A LTCC microwave-microfluidic reactor. Microwave, Radar and Wireless Communications (MIKON), 21st International Conference, 1–4.

Uwagi

Opracowanie ze środków MNiSW w ramach umowy 812/P-DUN/2016 na działalność upowszechniającą naukę (zadania 2017)