Półautomatyczny układ pomiarowy multispektralnego interferometru laserowego do wzorcowania długich płytek wzorcowych

• Autorzy: Szumski R.

Warianty tytułu

EN

Semi-automatic measuring system of the multiwavelength laser interferometer for calibration of long gauge blocks

• Konferencja: XI Szkoła-Konferencja „Metrologia wspomagana komputerowo” MWK’2017
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Artykuł opisuje wyniki prac nad multispektralnym interferometrem laserowym do wzorcowania długich płytek wzorcowych, który powstał jako wynik współpracy Laboratorium Długości Głównego Urzędu Miar z Instytutem Mikromechaniki i Fotoniki Wydziału Mechatroniki Politechniki Warszawskiej. Zaprezentowany został zautomatyzowany układ pomiarowy z systemem stabilizacji i monitorowania warunków środowiskowych oraz oprogramowaniem do analizy obrazu i sterowania układem.

EN

This paper describes the results of work on the multiwavelength laser interferometer for calibration of long gauge blocks, which was a result of the cooperation between the Length Laboratory of Central Office of Measures and the Institute of Micromechanics and Photonics at Warsaw University of Technology. The automated measuring setup with the system of environmental condition controlling and monitoring was presented together with image analysis and controlling software.

Słowa kluczowe

PL

układy pomiarowe; przyrządy pomiarowe; wzorcowanie

EN

measuring systems; measuring instruments; calibration

• Wydawca: Główny Urząd Miar
• Czasopismo: Metrologia i Probiernictwo : biuletyn Głównego Urzędu Miar
• Rocznik: 2017
• Tom: nr 3-4 (18-19)
• Strony: 28--32
• Opis fizyczny: Bibliogr. 15 poz., fot., rys., tab.

Twórcy

autor

Szumski R.

• Główny Urząd Miar, Samodzielne Laboratorium Długości

Bibliografia

• [1] Lewis A. J., Absolute length measurement using multiple-wavelength phase-stepping interferometry. PhD Thesis. University of London, 1993.
• [2] Bitou Y., Hirai A., Yoshimori H., Hong F., Zhang Y., Onae A., Seta K., Gauge block interferometer using three frequency-stabilized lasers. Proc. SPIE 4401 (2001), s. 288-297.
• [3] Ikonen E., Riski K., Gauge-block interferometer based on one stabilized laser and a white-light source. Metrologia 30 (1993), s. 95-104.
• [4] Wengierow M., Salbut L., Ramotowski Z., Interferometric multiwavelength system for long gauge blocks measurements. Proc. SPIE (Munich) 8082, 80822R, (2011).
• [5] Wengierow M., Salbut L., Pakula A., Lukaszewski D., Multi-wavelength interferometer for high accuracy measurement of long gauge blocks Proc. SPIE (San Diego), 7064, 70640N (2008).
• [6] Edlén B., The refractive index of air. Metrologia 2 (1996), s. 71-80.
• [7] Birch K. P., Downs M. J., An updated Edlén equation for the refractive index of air, Metrologia 30 (1993), s. 155-162 .
• [8] Birch K. P., Downs M. J., Correction to the updated Edlén equation for the refractive index of air, Metrologia 31 (1994), s. 315 -316.
• [9] Bönsch G., Potulski E., Measurement of the refractive index of air and comparison with modified Edlen’s formulae, Metrologia 35, (1998), s. 133-139.
• [10] Ramotowski Z., Sałbut L., Practical aspects of phase correction determination for gauge blocks measured by optical interferometry. Measurement Science and Technology 23 (2012).
• [11] Decker J. E., Pekelskym J. R., Uncertainty evaluation for the measurement of gauge blocks by optical inter-ferometry, Metrologia 34, 1997, s. 479-493.
• [12] JCGM 100:2008 Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement. BIPM.
• [13] Vegesna R. K., Hocken R. J., A study of gauge block wringing Proc. ASPE 1-4 (2005).
• [14] Matus M. i in., Measurement of gauge blocks by interferometry, Metrologia 53 (2016), Technical Supplement.
• [15] Lewis A., Running of MRA comparisons in length metrology and monitoring their impact on CMCs. CCL/WG-MRA/GD-1 (2012).

Uwagi

Artykuł powstał na podstawie referatu przedstawionego na konferencji XI Szkoła-Konferencja „Metrologia wspomagana komputerowo" MWK’2017.