Zadanie proste i odwrotne w skaterometrii nierówności powierzchni

• Autorzy: Łukianowicz C.

Identyfikatory

DOI

10.17814/mechanik.2016.11.460

Warianty tytułu

EN

Direct and inverse problems in scatterometry of rough surfaces

• Konferencja: VII Kongres Metrologii „Metrologia fundamentem postępu w naukach stosowanych”
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono dwa podstawowe problemy związane z zastosowaniem w pomiarach nierówności powierzchni zjawiska rozpraszania światła. Przybliżono ideę rozwiązania zadania odwrotnego w pomiarach wykorzystujących optyczne przekształcenie Fouriera

EN

Two major problems associated with the use phenomenon of light scattering for the measurement of surface roughness are outlined briefly. Idea solve the inverse problem in the measurements using optical Fourier transform is shown.

Słowa kluczowe

PL

zadanie proste; zadanie odwrotne; rozpraszanie światła; powierzchnie nierówne

EN

direct problem; inverse problem; light scattering; rough surfaces

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Mechanik
• Rocznik: 2016
• Tom: R. 89, nr 11
• Strony: 1614--1615
• Opis fizyczny: Bibliogr. 9 poz., rys.

Twórcy

autor

Łukianowicz C.

• Katedra Inżynierii Produkcji, Politechnika Koszalińska

Bibliografia

• 1. Wieczorowski M. „Metrologia nierówności powierzchni – metody i systemy”. Szczecin, ZAPOL, 2013.
• 2. Stover J.C. “Optical Scattering: Measurement and Analysis”. 3rd Edition, Bellingham, SPIE Press, 2012.
• 3. Halhweg C., Rothe H. “Rough surface scatterometry of bodies with rotational symmetry”. Proc. of SPIE. Vol. 7065, (2008): pp. 70650H-1-6.
• 4. Afifi S.E., Dusseaux R. “Scattering by random rough surfaces: Study of direct and inverse problem”. Optics Communication. Vol. 265, No. 1 (2006): pp. 11–17.
• 5. Baltes H.P. (ed.) “Inverse Scattering Problems in Optics”. Springer, Berlin, Heidelberg, 2012.
• 6. Colton D., Kress R. “Inverse Acoustic and Electromagnetic Scattering Theory”. New York, Heidelberg, Springer, 2012.
• 7. Mroczka J., Szczuczyński D. “Inverse problems formulated in terms of first-kind Fredholm integral equations in indirect measurement”. Metrology and Measurement Systems. Vol. 16, No. 3 (2009): pp. 333–357.
• 8. Szczuczyński D.K., Mroczka J. “Comparing the quality of solutions of inverse problem in nephelometric and turbidimetric measurements”. Optica Applicata. Vol. 39, No. 3 (2009): pp. 521–531.
• 9. Łukianowicz Cz. “Inverse problem in scatterometry of rough surfaces”. Optica Applicata. Vol. 33, No. 2–3 (2003): pp. 315–327.

Uwagi

PL

Opracowanie ze środków MNiSW w ramach umowy 812/P-DUN/2016 na działalność upowszechniającą naukę.