Wpływ składu gazu roboczego na proces wzrostu warstw diamentowych otrzymywanych przez chemiczne osadzanie metodą gorącego włókna

Banaszak-Piechowska, A.; Popielarski, P.; Franków, W.

doi:10.15199/62.2015.2.14

Artykuł - szczegóły

Tytuł artykułu

Wpływ składu gazu roboczego na proces wzrostu warstw diamentowych otrzymywanych przez chemiczne osadzanie metodą gorącego włókna

Autorzy

Banaszak-Piechowska A. , Popielarski P. , Franków W.

Wybrane pełne teksty z tego czasopisma

przemchem.pl

Identyfikatory

DOI

10.15199/62.2015.2.14

Warianty tytułu

Effect of composition of work gas on process of diamond layer growth made by hot-filament chemical vapor deposition

Języki publikacji

Abstrakty

Badano proces syntezy warstw diamentowych prowadzony metodą HF CVD. Zwrócono uwagę, że zmiana nawet jednego z parametrów procesu wpływa istotnie na zmianę jakości warstwy oraz jej strukturę. W tym celu posłużono się takimi nieinwazyjnymi metodami badawczymi, jak skaningowa mikroskopia elektronowa, spektroskopia Ramana i analiza EDS. Zastosowane metody wzajemnie uzupełniały się i potwierdziły istotny wpływ zawartości metanu w gazie roboczym na jakość oraz wielkość ziaren otrzymanej warstwy diamentowej.

Diamond layers were deposited on a Si substrate by hot-filament chemical vapor deposition from a MeH-H₂ mixt. at 2200°C (W wire) and studied by Raman spectroscopy, scanning electron microscopy and electron dispersive spectroscopy for mol. structure and chem. compn. The grain size in the diamond layer increased with the increasing content of MeH in the gas mixt. (1–3% by vol.).

Słowa kluczowe

metoda HF CVD metoda gorącego włókna synteza warstwa diamentowa gaz roboczy

HF CVD method hot-filament chemical vapor deposition synthesis diamond layer work gas

Wydawca

Wydawnictwo SIGMA-NOT

Czasopismo

Przemysł Chemiczny

Rocznik

2015

Tom

T. 94, nr 2

Strony

201--204

Opis fizyczny

Bibliogr. 22 poz., rys., wykr.

Twórcy

autor

Banaszak-Piechowska A.

Uniwersytet Kazimierza Wielkiego, Bydgoszcz

autor

Popielarski P.

piotrpop86@o2.pl

Instytut Fizyki, Uniwersytet Kazimierza Wielkiego w Bydgoszczy, ul. Powstańców Wielkopolskich 2, 85-090 Bydgoszcz

autor

Franków W.

Uniwersytet Kazimierza Wielkiego, Bydgoszcz

Bibliografia

1. I. Amato, Science 1993, 260, 1424.
2. T.D. Burchell, Carbon materials for advanced technologies, Pergamon, Amsterdam 1999.
3. H. Liu, D.S. Dandy, Diamond chemical vapor deposition, Noyes Publications, New Jersey 1995.
4. R. Setton, P. Bernier, S. Lefrant, Carbon molecules and materials, Taylor & Francis, New York 2002.
5. https://ay14-15.moodle.wisc.edu/prod/pluginfile.php/72563/mod_folder/content/ 0/adiamondisforever.ppt?forcedownload=1, dostęp 12 listopada 2014 r.
6. L. Mosińska, P. Popielarski, P. Popielarski, W. Franków, A. Banaszak- Piechowska, Przem. Chem. 2014, 93, 1587.
7. A. Szulc, Y. Zorenko, L. Mosińska, Przem. Chem. 2012, 91, 75.
8. H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley, Solid State Commun. 1981, 39, 625.
9. L. Mosińska, M. Kowalska, P. Popielarski, K. Fabisiak, K. Paprocki, M. Szybowicz, A. Wrzyszczyński, G.K. Zhusupkalieva, Mater. Sci.-Poland 2013, 31, 146.
10. R. Torz-Piotrowska, A. Wrzyszczyński, K. Paprocki, M. Szreiber, C. Uniszkiewicz, E. Starga, J. Achiev. Mater. Manuf. Eng. 2009, 37, 486.
11. A.C. Ferrari, J. Robertson, Phil. Trans. R. Soc. Land. A 2004, 362, 2477.
12. A. Szulc, L. Mosińska, Ochr. Kor. 2011, 10, 597.
13. K. Fabisiak, M. Kowalska, M. Szybowicz, K. Paprocki, P. Popielarski, A. Wrzyszczyński, L. Mosińska, G. K. Zhusupkalieva, Adv. Eng. Mater. 2013, 15, 935.
14. J. Kwiatkowska, B. Rajchel, Ż. Świątkowska, T. Nowak, Raport nr 2011/AP IFJ PAN, 2008.
15. D. Ballutaud, F. Jomard, T. Kociniewski, E. Rzepka, H. Girard, S. Saada, Diam. Relat. Mater. 2008, 17, 451.
16. L. Mosińska, K. Fabisiak, K. Paprocki, M. Kowalska, P. Popielarski, M. Szybowicz, Electrochim. Acta 2013, 104, 481.
17. K. Fabisiak, Analiza defektów w cienkich, polikrystalicznych warstwach diamentowych otrzymywanych metodami CVD, praca habilitacyjna, UMK Toruń 1994.
18. K. Paprocki, Właściwości optyczne i elektryczne warstw diamentowych i nanodiamentowych w zależności od wybranych parametrów procesu CVD, praca doktorska, Politechnika Łódzka, Łódź 2012.
19. R.G. Buckley, T. Moustakas, L. Ye, J. Varon, J. Appl. Phys. 1989, 66, 3595.
20. R. Torz-Piotrowska, K. Fabisiak, K. Paprocki, M. Szybowicz, E. Staryga, A. Banaszak, J. Phys. Chem. Solids 2011, 72, 1225.
21. M. Moyzykh, S. Samoilenkov, V. Amelichev, A. Vasiliev, A. Kaul, J. Cryst. Growth 2013, 383, 145.
22. H. Zanin, A.C. Peterlevitz, H.J. Ceragioli, A.A. Rodrigues, W.D. Belangero, V. Baranauskas, Mater. Sci. Eng. C 2012, 32, 2340.

Typ dokumentu

Bibliografia

Identyfikator YADDA

bwmeta1.element.baztech-609ba7c3-db7b-4673-8c05-2cef214eeac6