Polerowanie membranowe – technika ultraprecyzyjnej mikroobróbki ściernej

• Autorzy: Kudła L.
• Konferencja: XXXV Naukowa Szkoła Obróbki Ściernej na temat Problemy i tendencje rozwoju obróbki ściernej, 19-21 września 2012, Lądek Zdrój
• Języki publikacji: PL

Słowa kluczowe

PL

polerowanie membranowe; mikroobróbka ścierna

EN

membrane polishing; abrasive micromachining

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Mechanik
• Rocznik: 2012
• Tom: R. 85, nr 8-9CD (NSOŚ)
• Strony: 143--248
• Opis fizyczny: Bibliogr. 11 poz., rys., tabl.

Twórcy

autor

Kudła L.

• Zakład Technologii Wyrobów Precyzyjnych i Elektronicznych, Wydział Mechatroniki Politechniki Warszawskiej, ul. św. A. Boboli 8 p. 152, 02-525 Warszawa

Bibliografia

• [1] BEAUCAMP A., FREEMAN R., MATSUMOTO A., NAMBA Y., Fluid Jet and Bonnet Polishing of Optical Moulds for Application from Visible to X-Ray, Proc. of the 11th euspen* Int. Conf., May 2011, Como, Italy, Vol. 1, 29–32.
• [2] BRECHER C., TUECKS R., WENZEL C., Development of a Membrane Based Polishing Tool, Proc. of the euspen* Int. Conf., June 2010, Delft, Netherlands, Vol. 2, 164–167.
• [3] CHEUNG C.F., KONG L.B., HO L.T., TO S., Modelling and Simulation of Structure Surface Generation using Computer Controlled Ultra-precision Polishing, Precision Engineering 35 (2011) 574–590.
• [4] CHEN X., Corrective Abrasive Finishing Process for Freeform Surface, Key Engineering Materials, Vol. 404, 2009, 103–112.
• [5] KOMANDURI R., LUCCA D.A., TANI Y., Technological Advances in Fine Abrasive Processes,Annals of the CIRP, Vol. 46, No. 2, 1997, 545–596.
• [6] MAURY A., OUMA D., BONING D., CHUNG J., A Modification to Preston’s Equation and Impact on Pattern Density Effect Modeling, www-mtl.mit.edu.
• [7] VERNANI D., Manufacturing of Precise Grazing Incidence EUVL/X-ray Optics by Means of Nickel Electroforming Replica Process, Proc. of the 11th euspen* Int. Conf., May 2011, Como, Italy, Vol. 1, 2–5.
• [8] WAECHTER D., DAMBON O., KLOCKE F., Analytical Process Design for Chemo-mechanical Polishing of Glass Aspheres, Proc. of SPIE, Vol. 8126, 2011.
• [9] WALKER D. D. et al., New Results Extending the Precessions Process to Smoothing Ground Aspheres and Producing Freeform Parts, Proc. of SPIE, Vol. 5869, 2005.
• [10] WALKER D. D. et al., A Quantitative Comparision of Three Grolish ing Techniques for the PrecessionsTM Process, Proc. of SPIE, Vol. 6671, 2007.
• [11] www.zeeko.co.uk