Badania derywatograficzne i z wykorzystaniem mikroskopii skaningowej cienkich warstw SnOx wytworzonych metodą rozwirowania roztworów SnCl4·5H2O+IPA

• Autorzy: Waczyński K. , Waczyńska-Niemiec N. , Wróbel E. , Majewska J. , Libera M.

Warianty tytułu

EN

DTA and SEM investigations of SnOx thin films prepared from SnCl4·5H2O+IPA solutions by spin-coating method

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono wyniki badań derywatograficznych roztworów SnCl4·5H2O+IPA używanych do wytwarzania cienkich sensorycznych warstw dwutlenku cyny. Istotnym etapem procesu formowania ostatecznych właściwości warstwy SnO2 jest wygrzewanie w temperaturze do 1000°C żelowej warstwy pozostającej na podłożu po etapie rozwirowania. Przemiany, jakim podlega roztwór w trakcie procesu wirowania, a następnie wygrzewania mają decydujący wpływ na ostateczne właściwości warstwy. Przemiany, jakie zachodzą w strukturze warstwy SnO2 porównywano z morfologią powierzchni warstwy badaną przy wykorzystaniu skaningowej mikroskopii elektronowej.

EN

This paper gives a result of the derivatographic investigation of SnCl4·5H2O+IPA solutions, which are used to production of tin dioxide thin sensoric films. The most important step in this process is forming the final properties of spinned SnO2 gel layer during the annealing at a temperature to 1000°C. The transformations, which occur in the solution during the process of spinning and annealing, have a decisive influence on the final properties of the layer. Transformations taking place in the structure of the SnO2 layer are in corelation with the surface morphology examined by scanning electron microscopy.

Słowa kluczowe

PL

derywatografia; roztwór; warstwa sensorowa; dwutlenek cyny

EN

derivatographic analysis; solution; spinning; sensoric layers of tin dioxide

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2015
• Tom: R. 91, nr 9
• Strony: 195--198
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., rys., tab.

Twórcy

autor

Waczyński K.

• Politechnika Śląska, Instytut Elektroniki, ul. Akademicka 16, 44-100 Gliwice

autor

Waczyńska-Niemiec N.

• Politechnika Śląska, Instytut Elektroniki, ul. Akademicka 16, 44-100 Gliwice

autor

Wróbel E.

• Politechnika Śląska, Instytut Elektroniki, ul. Akademicka 16, 44-100 Gliwice

autor

Majewska J.

• Politechnika Śląska, Katedra Biosensorów i Przetwarzania Sygnałów Biomedycznych, ul. Roosevelta 40-40a, 41-800 Zabrze

autor

Libera M.

• Centrum Materiałów Polimerowych i Węglowych PAN, ul. Sowińskiego 5, 44-121 Gliwice

Bibliografia

• [1] Rani S., Roy S.C., Bhatnagar M.C., Effect of Fe doping on the gas sensing properties of nano-crystalline SnO2 thin films, Sensors and Actuators B, vol.122, (2007), 204-210
• [2] Bazargan S., Heining N.F., Pradhan D., Leung K.T., Controlled growth of mono disperse nanocrystallites in thin (IV) oxide nanofilms, Crystal Growth & Design, vol.11(1), (2011), 247-255
• [3] Waczyński K., Cienkie warstwy dwutlenku cyny w aspekcie zastosowań w mikroelektronice – monografia. Wydawnictwo Politechniki Śląskiej, Gliwice 2013
• [4] Izydorczyk W., Waczyński K., Izydorczyk J., Karasiński P., Mazurkiewicz J., Magnuski M., Uljanow J., Waczyńska-Niemiec N., Filipowski W., Electrical and optical properties of spincoated SnO2 nanofilms, Material Science Poland, vol. 32 no. 4, (2014), 729-736