Niskociśnieniowe źródło plazmy azotowej w technologiach hybrydowych

• Autorzy: Betiuk M.

Warianty tytułu

EN

Low-pressure nitrogen plasma source in hybrid technologies

• Konferencja: Seminarium Instytutu Mechaniki Precyzyjnej „Azotowanie stali konstrukcyjnych i narzędziowych” (4.06.2014, Poznań, Polska)
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule opisano zasadę działania źródła jonów AIDA (opracowanie Białoruskiej Akademii Nauk), którego konstrukcja jest doskonalona w Instytucie Mechaniki Precyzyjnej. W prowadzonych badaniach źródło zastosowano w technologii hybrydowej złożonej z procesów azotowania gazowego i PA PVD. W celu ilustracji efektów technologicznych z zastosowaniem źródła w procesach PA PVD przedstawiono wyniki badań: oddziaływania formowanego strumienia jonów N2+ i cząstek wzbudzonych N2* powierzchnią Fe oraz współpracy (asysty) źródła w syntezie TiN prowadzonej nad technologią łuku niskociśnieniowego PVD-Arc. Badania wykazały możliwość wzbogacenia plazmy wyładowania łukowego w jony azotu i otrzymywanie powłok TiN o wysokiej adhezji do warstwy azotków żelaza.

EN

The article describes the principle of operation of the ion source AIDA (worked out at the Belarusian Academy of Sciences) which design was perfected in the Institute of Precision Mechanics. In this study, source used in hybrid technology consisting of a gas nitriding and PA PVD. In order to illustrate the effects of technological sources using PA PVD processes presents the results of effects: the impact of molded stream of ions (N2+) and excited molecule (N2*) reactive surface Fe and cooperation sources with in the synthesis of TiN conducted on the technology of low pressure arc PVD-Arc. Studies have shown enrichment arc discharge plasma, and nitrogen ions produce coatings with high adhesion TiN layer of iron nitride.

Słowa kluczowe

PL

źródło jonów azotu; AIDA; TiN; azotowanie jonowe; azotowanie gazowe; technologia hybrydowa; PVD; azotek żelaza; plazma; próżnia

EN

ion source of nitrogen; AIDA; TiN; ion nitriding; gas nitriding; hybrid technology; PVD; nitrides of iron; plasma; vacuum

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz – Instytut Mechaniki Precyzyjnej
• Czasopismo: Inżynieria Powierzchni
• Rocznik: 2014
• Tom: nr 2
• Strony: 44--50
• Opis fizyczny: Bibliogr. 11 poz., wykr., rys.

Twórcy

autor

Betiuk M.

• Instytut Mechaniki Precyzyjnej, Warszawa

Bibliografia

• 1] Smolik J.: Rola warstw hybrydowych typu warstwa azotowana/powłoka PVD w procesie zwiększenia trwałości matryc kuźniczych. Studia i rozprawy, ITE PIB Radom 2007.
• [2] Walkowicz J.: Fizykochemiczna struktura plazmy a skład chemiczny i fazowy warstw wytwarzanych technikami plazmowej inżynierii powierzchni. Studia i rozprawy, ITE PIB Radom.
• [3] Zdanowski J. Oleszkiewicz W.: Rola jonów w procesach nanoszenia warstw cienkich z fazy gazowej, 12 Szkoła Letnia, Kołobrzeg 2000, Modern Plasma Surface Technology, s. 75-133.
• [4] Mušegan V.O.: Tehnologia naneseniâ iznosostojkih pokrytji nitrida hroma na čekanočnyjeinstrumenty s pomoŝŭ magnetronnogo pazpylatela. Vip. 12, 2010. Ser. Metalurgia, s. 260-268.
• [5] Betiuk M., Szudrowicz M.: Trawienie i wspomaganie jonowe w procesie PA PVD-Arc - źródło jonów Aida. „Inżynieria materiałowa", 5/2005, s. 277-280.
• [6] Burakowski T.: System areologiczny - model funkcjonalny i fizyczny. „Inżynieria Materiałowa", nr 4/2011,3.352-358.
• [7] Burakowski T., Wierzchoń T.: Surface Engineering of Metals. CRC Press Boce Raton, New York, 1999.
• [8] Roliński E.: Azotowanie jonowe tytanu i jego stopów, Prace Naukowe Politechniki Warszawskiej, Mechanika, 1988,s.118.
• [9] Fraczek T., Olejnik M.: Znaczenie rozpylania katodowego w procesie azotowania jarzeniowego stali austenitycznych. Praca zbiorowa pod redakcją Lecha Szecówki: „Nowe technologie i osiągnięcia w metalurgii i inżynierii materiałowej". Wydawnictwo Politechniki Częstochowskiej, Częstochowa, 2008, s.85-88.
• [10] Baranowska J.: Wpływ rozpylania katodowego na formowanie warstwy powierzchniowej w procesie azotowania gazowego. Praca doktorska. Politechnika Szczecińska, 2001.
• [11] Michalski J.: Tworzenie się warstw powierzchniowych azotku tytanu i węglika tytanu w procesach krystalizacji z fazy gazowej w atmosferach chlorkowych. Instytut Mechaniki Precyzyjnej, Warszawa 2001.