Badanie rozkładu grubości powierzchni cienkich warstw metodą elipsometrii spektroskopowej

• Autorzy: Hajduk Barbara , Jarka Paweł , Nitschke Paweł
• Języki publikacji: PL

Słowa kluczowe

PL

elipsometria spektroskopowa; rozkład grubości; cienkie warstwy; badania nieniszczące

EN

spectroscopic ellipsometry; thickness distribution; thin films; non-destructive testing

• Wydawca: Roble Sp. z o.o.
• Czasopismo: LAB Laboratoria, Aparatura, Badania
• Rocznik: 2019
• Tom: R. 24, nr 1
• Strony: 6--8
• Opis fizyczny: Bibliogr. 3 poz., il. kolor., wykr.

Twórcy

autor

Hajduk Barbara

• Centrum Materiałów Polimerowych i Węglowych Polskiej Akademii Nauk w Zabrzu

autor

Jarka Paweł

• Zakład Technologii Procesów Materiałowych, Zarządzania i Technik Komputerowych w Materiałoznawstwie, Instytut Materiałów Inżynierskich i Biomedycznych, Wydział Mechaniczny Technologiczny, Politechnika Śląska w Gliwicach

autor

Nitschke Paweł

• Centrum Materiałów Polimerowych i Węglowych Polskiej Akademii Nauk w Zabrzu

Bibliografia

• [1] U. Richter, G. Dittmar, H. Ketelsen, SpectraRay/3. Measure, modeling, simulation and fits for enhancing spectroscopic ellipsometers, Sentech Instruments GmbH, 2011.
• [2] B. Hajduk, H. Bednarski, B. Jarząbek, H. Janeczek, P. Nitschke, P3HT:PCBM blend films phase diagram on the base of variable-temperature spectroscopic ellipsometry, Beilstein Journal of Nanotechnology 9 (2018) 1108–1115.
• [3] L.M.N. Assis, J.R. Andrade, L.H.E. Santos, A.J. Motheo, B. Hajduk, M. Łapkowski, A. Pawlicka, Spectroscopic and microscopic study of Prussian blue film for electrochromic device application, Electrochimica Acta 175 (2015) 176–183.