Analiza właściwości wybranych warstw typu TCO jako optycznych luster podczerwieni

• Autorzy: Domaradzki J. , Kaczmarek D. , Wojcieszak D , Mazur M. , Poniedziałek A. , Głodek S.

Warianty tytułu

EN

Investigations on TCO thin films as optical infrared mirrors

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Cienkie warstwy przezroczystych tlenków przewodzących (TCO) oraz półprzewodnikowych (TOS) stanowią dobrze już znaną grupę materiałów o unikatowych właściwościach. Łączą one bardzo dobrą przezroczystość dla światła w zakresie widzialnym promieniowania optycznego z jednoczesnym dobrym przewodnictwem elektrycznym. Do najbardziej znaczących materiałów tego typu należą takie tlenki, jak SnO2, In2O3, ZnO. Niniejsza praca zawiera dyskusję oraz wyniki modelowania komputerowego, dotyczącego zastosowania przykładowych warstw TCO jako optycznych luster cieplnych. Przedyskutowano wpływ na położenie krawędzi absorpcji w zakresie podczerwieni takich czynników, jak koncentracja nośników swobodnych oraz grubość warstwy. Modelowanie komputerowe wykonano wykorzystując charakterystyki dyspersji zespolonego współczynnika załamania światła otrzymane dla warstw In2O3-SnO2 naniesionych metodą rozpylania magnetronowego.

EN

Transparent oxide conducting (TCO) and semiconducting (TOS) thin films are already well known group of unique materials with high transparency for light in the visible part of optical radiation and simultaneously sufficiently well electrical conduction. To the leading group of such materials belong such oxides like SnO2, In2O3, ZnO. TCO thin films with n-type of electrical conduction are commonly used in the construction of transparent electrodes in many, especially portable electronics devices. However, increasing of electrical conduction in TCO or TOS thin films is usually possible by an increase in free charge carriers concentration in such thin films that results in the appearance of reduced light transmission in the infrared region of electromagnetic waves. The present work consists discussion and results of computer designing and on application of exemplary TCO thin films as optical heat mirrors. Computer simulations were performed using complex refractive index dispersion data elaborated for In2O3-SnO2 deposited by magnetron sputtering method.

Słowa kluczowe

PL

przezroczysty tlenek przewodzący; elektronika przezroczysta; tlenek indowo-cynowy; lustro podczerwieni

EN

transparent oxide semiconductor; transparent electronics; infrared mirror coatings; ITO

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2015
• Tom: R. 91, nr 9
• Strony: 20--23
• Opis fizyczny: Bibliogr. 6 poz., rys.

Twórcy

autor

Domaradzki J.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław

autor

Kaczmarek D.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław

autor

Wojcieszak D

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław

autor

Mazur M.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław

autor

Poniedziałek A.

• Politechnika Wrocławska, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki, ul. Z. Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław

autor

Głodek S.

• Z.P. Bohamet Sp. J., Ciele, ul. Toruńska 2, 86-005 Białe Błota

Bibliografia

• [1] Chen M., Pei Z.L., Wang X., Yu Y.H., Liu X.H., Sun C., Wen L.S., Intrinsic limit of electrical properties of transparent conductive oxide films, J. Phys. D: Appl. Phys. 33 (2000) 2538
• [2] SCOUT – a thin film analysis program developed and distributed by M.Theiss Hard- and Software (www.mtheiss.com/wcd.htm)
• [3] O'Leary S.K., Johnson S.R., Lim P.K., The relationship between the distribution of electronic states and the optical absorption spectrum of an amorphous semiconductor: an empirical analysis, J.Appl. Phys. 82 (1997) 3334
• [4] Ordal M.A., Long L.L., Bell R.J., Bell S.E., Bell R.R., Alexander R.W., Jr., Ward C.A., Optical properties of the metals Al, Co, Cu, Au, Fe, Pb, Ni, Pd, Pt, Ag, Ti, and W in the infrared and far infrared, Applied Optics 22 (1983) 1099
• [5] Zhong Y., Dongmo P.B., Gong L., Law S., Chase B., Wasserman D., and Zide J.M.O., Degenerately doped InGaBiAs:Si as a highly conductive and transparent contact material in the infrared range, OPTICAL MATERIALS EXPRESS 1197
• [6] Fachun Lai, Limei Lin, Rongquan Gai, Yongzhong Lin, Zhigao Huang, Determination of optical constants and thicknesses of In2O3:Sn films from transmittance data, Thin Solid Films 515 (2007) 7387