Wytwarzanie spieków na bazie metali wysokotopliwych i ziem rzadkich jako materiałów źródłowych do nanoszenia warstw funkcjonalnych metodą magnetronową

• Autorzy: Lis M. , Woch M. , Szatkowski A. , Kamińska M. , Staszewski M. , Kołacz D.

Identyfikatory

DOI

10.15 199/67.2015.12.12

Warianty tytułu

EN

Fabrication of sinters based on refractory metals and rare earths as the starting materials for preparation of functional thin films by magnetron sputtering

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Wytwarzanie cienkich warstw funkcjonalnych metodą magnetronową wymaga stosowania specyficznych materiałów źródłowych, tzw. targetów. W artykule przedstawiono wyniki pracy nad technologią wytwarzania targetów W-Re, Mo-Re oraz TiO2 z wolframem, neodymem i hafnem, stosując nowoczesną techniką metalurgii proszków, jaką jest spiekanie impulsowo plazmowe (SPS). Zastosowana metoda pozwoliła na uzyskanie targetów o wysokiej gęstości i małej porowatości. Testy wytwarzania cienkich warstw metodą magnetronową z zastosowaniem otrzymanych targetów potwierdziły, że mogą być one stosowane do rozpylania magnetronowego.

EN

In order to fabricate thin functional films by a magneton method it is necessary to use specific starting materials, which are called targets. This paper presents results of a research work on fabrication of the W-Re, Mo-Re and TiO2 targets with tungsten, neodymium and hafnium, using a modern powder metallurgy technique — spark plasma sintering (SPS). The targets obtained by this method were of high density and low porosity. They were used during the tests with fabrication of thin films by a magnetron method confirming that they are suitable for magnetron sputtering.

Słowa kluczowe

PL

metalurgia proszków; spiekanie impulsowo-plazmowe (PPS); target; rozpylanie magnetronowe; cienka warstwa

EN

powder metallurgy; spark plasma sintering; target magnetron sputtering; thin films

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Rudy i Metale Nieżelazne Recykling
• Rocznik: 2015
• Tom: R. 60, nr 12
• Strony: 717--722
• Opis fizyczny: Rys., tab.

Twórcy

autor

Lis M.

• Instytut Metali Nieżelaznych, Gliwice

autor

Woch M.

• Instytut Metali Nieżelaznych, Gliwice

autor

Szatkowski A.

• Instytut Metali Nieżelaznych, Gliwice

autor

Kamińska M.

• Instytut Metali Nieżelaznych, Gliwice

autor

Staszewski M.

• Instytut Metali Nieżelaznych, Gliwice

autor

Kołacz D.

• Instytut Metali Nieżelaznych, Gliwice