System sterowania procesem nanoszenia wielowarstwowych powłok metalicznych metodą jonowego rozpylania

• Autorzy: Marszałek K. W. , Stępień J. , Mania R.

Warianty tytułu

EN

Computer controlled system for the puls magnetron sputtering of the metallic multilayers

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule przedstawiono autorski system sterowania urządzeniem próżniowym, przeznaczonym do nanoszenia wielowarstwowych powłok metalicznych metodą impulsowego rozpylania magnetronowego średniej częstotliwości. System kontroluje prędkość obrotową uchwytu podłoży oraz dozuje poprzez zawory membranowe ilość gazu roboczego. Ponadto umożliwia rejestrację parametrów pracy wyrzutni magnetronowych oraz temperaturą i ciśnienie gazu. W drodze eksperymentu opracowano karty procesowe definiujące wszystkie niezbędne do przeprowadzenia procesu parametry. Pozwoliło to na stworzenie swoistej biblioteki procesów, upraszczającej obsługę umożliwiającej pełną automatyzację stanowiska. Oprogramowanie sterujące zrealizowano w oparciu o środowisko graficzne Lab VIEW, dzięki czemu panel operatorski jest prosty i intuicyjny, ułatwiając zarówno odtwarzanie zdefiniowanego procesu jak i opracowywaniu kolejnych jego modyfikacji.

EN

Computer control system for puls MF (Mid Frequency) magnetron sputtering equipment dedicated for metallic multilayers deposition is presented in this paper. The rotation velocity of the sample holder and the gas inlet through membrane valves are the main parameters controlled by the system. Parameters of the magnetron gun power supply, sample temperature and technological gas pressure are registered. The process card which define all process parameters are collected for each dedicated process type. All cards are collected in a process cards library which permits for full automatization of all operations. Software was written in a graphical environment Lab VIEW. It cause very simply usage for operator (operator’s interface is easy to control) and the preparation of the processes modifications is not complicated.

Słowa kluczowe

PL

sterownik procesu; Al/Ni; rozpylanie magnetronowe

EN

controll system; multilayer magnetron sputtering

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Elektronika : konstrukcje, technologie, zastosowania
• Rocznik: 2013
• Tom: Vol. 54, nr 11
• Strony: 79--82
• Opis fizyczny: Bibliogr. 16 poz., il, rys.

Twórcy

autor

Marszałek K. W.

• Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie

autor

Stępień J.

• Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie

autor

Mania R.

• Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie

Bibliografia

• [1] Mania R., Dąbrowski M., Godlewska E., Koziński S., Rutkowska A., Trybalska B., Wojciechowski K., Some application of TiAl Micropowders Produced by Self-Propagation High-Temperature Synthesis, Intern. Journal of SHS, 1,2 (2003), 159.
• [2] Mania R., Stobierski L., Godlewska E., Koziński S., Mars K., Composite from Mo-Al. Intermetallics Compouds and Aluminium Nitride, Journal of SHS, 13, (2004), 49.
• [3] Blobaum K. J., Van Heerden D., Gavens A. J., Weihs T. P., Al/Ni formation reactions: characterization of the metastableAl9Ni2 phase and analysis of its formation, Acta Materialia, 51, (2003), 3871.
• [4] Trenkle J. C., Koerner L. J., Tate M. W., Gruner S. M., Weihs T. P. and Hufnagel T. C., Phase transformations during rapid heating of Al/Ni multilayer foils, Appl. Physics Lett., 93, 081903, (2008).
• [5] Gavens J., Van Heerden D.,Mann A. B., Reiss M. E. and Weihsa T. P.. Effect of intermixing on self-propagating exothermic reactions in Al/Ni nanolaminate foils, J. Appl. Phys., 87, (2000), 1255.
• [6] Ramos A. S., Vieira M. T., Morgiel J., Grzonka J., Simőes S., Vieira M. F., Production of intermetallic compounds from Ti/Al and Ni/Al multilayer thin films - A comparative study, Journal of Alloys and Compounds, 484, (2009), 335.
• [7] Marszałek K., Mania R., Stanowisko do nanoszenia warstw (TiAl)N na węgliki spiekane, Elektronika, R. 52 nr 8, (2011), 70-72.
• [8] Marszałek K., Sobków Z., Pisarkiewicz T., System do testowania wyświetlaczy LCD pracujący w środowisku Lab VIEW, Elektronika, vol. 50 nr 9 (2009) 85-86.
• [9] Stępień J., Marszałek K., Bezprzewodowe sieci transmisji danych w zastosowaniach sensorowych, Elektronika, 49, 6, (2008), 275-278.
• [10] Eady E, Hands-On ZigBee: Implementing 802.15.4 with Microcontrollers, ZigBee Aliance, (2007).
• [11] Stępień J., Kołodziej J., Ostrowski J., Golański R., System automatyki budynkowej z interfejsami ZigBee, Elektronika: konstrukcje, technologie, zastosowania, R. 53 nr 9, (2012).
• [12] Przepiórkowski J., Silniki elektryczne w praktyce elektronika, Legionowo, BTC, (2012).
• [13] Crnosija P., Kuzmanovic B., Ajdukovic S., Microcomputer implementation of optimal algorithms for closed-loop control of hybrid stepper motor drives, Industrial Electronics, IEEE Transactions, 47, 6, (2000), 1319-1325.