Powiadomienia systemowe
- Sesja wygasła!
Identyfikatory
Warianty tytułu
Modelowe badania na syntezą czystych warstw tlenku glinu metodą CVD
Języki publikacji
Abstrakty
The purpose of this research is to develop an optimal method for synthesizing of nanocrystalline Al2O3 monolayers at high growth rates on cemented carbides coated with an intermediate layer of pre- Al2O3-C (composite layers Al2O3-C/ Al2O3). The use of quartz glass substrate allows for obtaining information about the quality of the layers such the thickness and density, because of its high transparency. The Al2O3 layers that do not containing carbon were synthesized on quartz glass by MOCVD using aluminum acetylacetonate and air as the reactants at temperatures of 700-1000°C. Argon was also a carrier gas. The resulting layers were transparent, as homogeneous nucleation did not occur during the synthesis process. The layers synthesized at lower temperatures were subjected to a crystallization process at temperatures above 900°C. The crystallization process was studied as a function of time and temperature. The obtained layers were characterized by their nanocrystalline microstructure.
Celem badań jest opracowanie metody otrzymywania nanokrystalicznych monowarstw Al2O3 z dużą szybkością wzrostu na węglikach spiekanych pokrywanych warstwą pośrednią Al2O3-C (warstwy kompozytowe Al2O3-C/ Al2O3). Użycie podłoży ze szkła kwarcowego z uwagi na jego przezroczystość pozwoli uzyskać informacje dotyczące jakości otrzymanych warstw, np.: ich grubości, gęstości. Warstwy Al2O3 nie zawierające węgla syntezowano na szkle kwarcowym metodą MOCVD z użyciem acetyloacetonianu glinu oraz powietrza jako reagentów w temperaturach 700-1000°C. Gazem nośnym był argon, a także powietrze. Otrzymane warstwy były przezroczyste, co świadczyło o tym, że w trakcie wzrostu warstw nie występował proces nukleacji homogenicznej. Warstwy syntezowane w niższych temperaturach były poddawane krystalizacji w temperaturach powyżej 900°C. Badano przebieg procesu krystalizacji w funkcji czasu i temperatury. Otrzymane warstwy charakteryzowały się nanokrystaliczną budową.
Wydawca
Czasopismo
Rocznik
Tom
Strony
1121--1124
Opis fizyczny
Bibliogr. 5 poz., rys., tab., wykr.
Twórcy
autor
- AGH University of Science and Technology, Faculty of Materials Science and Ceramics, Department of Ceramics and Refractories, al. A. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków, Poland
autor
- AGH University of Science and Technology, Faculty of Materials Science and Ceramics, Department of Ceramics and Refractories, al. A. Mickiewicza 30, 30-059 Kraków, Poland
Bibliografia
- [1] N. Lindulf, M. Halversson, H. Norden, S. Vourinen, Thin Solid Films 253, 311 (1994).
- [2] A. Osada, E. Nakamura, H. Tomma, T. Hayashi, T. Oshika, International Journal of Refractory Metals and Hard Materials 24, 387 (2006).
- [3] A. Sawka, A. Kwatera, W. Juda, Powder Metallurgy Progress 8, 242 (2008).
- [4] A. Sawka, A. Kwatera, Archives of Metallurgy and Materials (be published).
- [5] A. Kwatera, Problemy Eksploatacji. Zeszyty Naukowe Instytutu Technologii Eksploatacji w Radomiu 5, 149 (1995).
Uwagi
EN
The results presented in this paper have been obtained within project N N507 610038 supported by the National Science Centre (NCN).
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-20e3ba2c-3fad-46f0-b5eb-1b661ea5ce45