Jak powstają te maleństwa?

• Autorzy: Sulima R.
• Języki publikacji: PL

Słowa kluczowe

PL

miniaturyzacja; mikroelektronika; fotolitografia; nanolitografia; elektronolitografia; rentgenolitografia; litografia

EN

miniaturization; microelectronics; photolithography; nanolithography; electron-beam lithography; X-ray lithography; lithography

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Elektrotechniki
• Czasopismo: Nowa Elektrotechnika
• Rocznik: 2008
• Tom: nr 5 (45)
• Strony: 1--4
• Opis fizyczny: rys.

Twórcy

autor

Sulima R.