Metody badawcze cienkich warstw wytworzonych metodą osadzania warstw atomowych

• Autorzy: Boryło Paulina , Szindler Marek , Szindler Magdalena , Lukaszkowicz Krzysztof
• Języki publikacji: PL

Słowa kluczowe

PL

badanie warstw; cienkie warstwy; osadzanie warstw atomowych; skaningowa mikroskopia elektronowa; mikroskopia sił atomowych

EN

layer analysis; thin layers; atomic layer deposition; atomic force microscopy; scanning electron microscopy

• Wydawca: Roble Sp. z o.o.
• Czasopismo: LAB Laboratoria, Aparatura, Badania
• Rocznik: 2019
• Tom: R. 24, nr 5
• Strony: 16--18
• Opis fizyczny: Bibliogr. 4 poz., il. (w tym 1 kolor.), wykr.

Twórcy

autor

Boryło Paulina

• Instytut Materiałów Inżynierskich i Biomedycznych, Wydział Mechaniczny Technologiczny, Politechnika Śląska w Gliwicach

autor

Szindler Marek

• Instytut Materiałów Inżynierskich i Biomedycznych, Wydział Mechaniczny Technologiczny, Politechnika Śląska w Gliwicach

autor

Szindler Magdalena

• Instytut Materiałów Inżynierskich i Biomedycznych, Wydział Mechaniczny Technologiczny, Politechnika Śląska w Gliwicach

autor

Lukaszkowicz Krzysztof

• Instytut Materiałów Inżynierskich i Biomedycznych, Wydział Mechaniczny Technologiczny, Politechnika Śląska w Gliwicach

Bibliografia

• [1] N. Pinna, M. Knez, Atomic Layer Deposition of Nanostructured Materials, Wiley-VCH, Weinheim 2012.
• [2] A.C. Jones, M.L. Hitchman, Chemical Vapour Deposition‚ Precursors, Processes and Applications, The Royal Society of Chemistry, United Kingdom 2009.
• [3] H.S. Nalwa, Handbook of thin film materials Vol. 1, Deposition and processing of thin films, Academic Press, San Diego 2002.
• [4] S. M. George, Atomic Layer Deposition: An Overview, Chem. Rev. 110 (2010) 111-131.