Przegląd metod skaterometrycznych stosowanych do aktywnej kontroli nierówności powierzchni

• Autorzy: Łukianowicz Cz.

Identyfikatory

DOI

http://dx.doi.org/10.17814/mechanik.2016.11.484

Warianty tytułu

EN

A review of scatterometric methods applied to in-process inspection of surface roughness

• Konferencja: XVI Krajowa VII Międzynarodowa Konferencja Naukowo-Techniczna „Metrologia w technikach wytwarzania”
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

W artykule dokonano przeglądu metod aktywnej kontroli nierówności powierzchni części maszyn wykorzystujących zjawisko rozpraszania światła. Dokonano krótkiej charakterystyki wybranych metod aktywnej kontroli chropowatości powierzchni.

EN

The in-process inspection of surface texture of machine elements by methods that use light scattering is analysed. A brief characterization of selected methods of in-process inspection of surface roughness was presented.

Słowa kluczowe

PL

kontrola aktywna; ocena chropowatości powierzchni; rozpraszanie światła

EN

in-process inspection; assessment of surface roughness; light scattering

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Mechanik
• Rocznik: 2016
• Tom: R. 89, nr 11
• Strony: 1670--1671
• Opis fizyczny: Bibliogr. 13 poz., rys.

Twórcy

autor

Łukianowicz Cz.

• Katedra Inżynierii Produkcji, Politechnika Koszalińska

Bibliografia

• 1. Wieczorowski M. „Metrologia nierówności powierzchni – metody i systemy”. Szczecin, ZAPOL, 2013.
• 2. Goch G., Schmitt R., Patzelt S., Stürwald S., Tausendfreund A. „In-situ and In-process Metrology for Optical Surfaces”. In Fabrication of Complex Optical Components. Berlin, Heidelberg: Springer, 2013.
• 3. Baumgart J.W., Truckenbrodt H. “Scatterometry of honed surfaces”. Optical Engineering. Vol. 37, No. 5 (1998): pp. 1435–1441.
• 4. Stover J.C. “Optical Scattering. Measurement and Analysis”. 3rd edition, Bellingham, WA: SPIE Press, 2012.
• 5. Bennett J.M., Mattsson L. “Introduction to surface roughness and Scattering”. 2nd edition, Washington, D.C.: OSA, 1999.
• 6. www.schmitt-ind.com/ (dostęp: 15.05.2016 r.).
• 7. www.optosurf.de/ (dostęp: 15.05.2016 r.).
• 8. Łukianowicz C., Karpiński T. “Optical system for measurement of surface form and roughness”. Measurement Science Review. Vol. 1, No. 1 (2001): pp. 151–154.
• 9. Kapłonek W., Łukianowicz C. “Non-Contact Optical Metrology for Automated In-Process Inspection of Machined Surfaces”. Proceedings of the 11th IMEKO TC14 International Symposium on Measurement and Quality Control, Cracow (2013): pp. 36–39.
• 10. Tian, G.Y., Lu R.S., Gledhill D. “Surface measurement using active vision and light scattering”. Optics and Lasers in Engineering. Vol. 45, No. 1 (2007): pp. 131–139.
• 11. Kapłonek W., Nadolny K. “Laser methods based on an analysis of scattered light for automated, in-process inspection of machined surfaces: A review”. Optik – International Journal for Light and Electron Optics. Vol. 126, Iss. 20 (2015): pp. 2764–2770.
• 12. Synak R. “Analysis and optimization of a total integrating scatter measuring unit based on a photodiode integrator”. Optical Engineering. Vol. 51, No. 11 (2012): pp. 11361.
• 13. Zhenrong Z., Jing Z., Peifu G. “Roughness characterization of well-polished surfaces by measurements of light scattering distribution”. Optica Applicata. Vol. 40, No. 4 (2010): pp. 811–818.