Wybrane aspekty wytwarzania elementów mikrofalowych w układach ceramicznych LTCC

• Autorzy: Jasińska L. , Malecha K.

Warianty tytułu

Selected aspects of developing microwave elements in LTCC modules

• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Artykuł prezentuje aspekty techniczne, które są istotne podczas wykonywania oraz projektowania zintegrowanych układów mikroprzepływowo-mikrofalowych. Zastosowanie techniki mikrofalowej w układach mikroprzepływowych otwiera nowe możliwości, które stanowią rozwiązanie części problemów występujących w układach mikroprzepływowych, takich jak wykorzystanie i dostarczanie energii cieplnej. Ponadto, mikrofale stanowią atrakcyjną alternatywę dla spotykanych obecnie metod charakteryzacji parametrów substancji umieszczonych w kanale mikroukładu. W związku z tym, przedstawiono typowe obszary zastosowań techniki mikrofalowej w modułach mikroprzepływowych. Opisano typowe podłoża, które są stosowane podczas wytwarzania wspomnianych układów, wraz z wyszczególnieniem ich cech charakterystycznych i porównaniem. Wskazano na korzyści płynące z zastosowania ceramiki LTCC (ang. Low temperature cofired ceramics, niskotemperaturowa ceramika współwypalana), jako materiału podłożowego pod układy mikroprzepływowo-mikrofalowe. Wyszczególniono możliwe do wykonania techniką LTCC typy prowadnic falowych wraz z odpowiednim położeniem mikrokanału w ceramicznym podłożu oraz dokonano krótkiego podsumowania.

This paper descries aspects, which are significant during the process of designing and developing of integrated microfluidic-microwave modules. The application of microwaves in microfluidic modules ensures the new possibilities, such as a providing a heat to the selected parts of a microsystem. Furthermore, the microwaves are the alternative solution of characterization of parameters the substance in the microchannel. Therefore, the usual fields of microwave technique in microfluidic modules are presented. The most used substrates in mentioned devices are described and compared. The benefits of using the LTCC as the substrate of microfluidic-microwave devices are indicated. Furthermore, the most common used wave guides integrated with the geometry of microchannels in LTCC modules are presented.

Słowa kluczowe

PL

LTCC; technika mikrofalowa; mikrokanał; prowadnice falowe

EN

LTCC; microwaves; microchannel; wave guides

• Wydawca: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Górnośląski Instytut Technologiczny
• Czasopismo: Maszyny Elektryczne : zeszyty problemowe
• Rocznik: 2018
• Tom: Nr 2 (118)
• Strony: 199--203
• Opis fizyczny: Bibliogr. 12 poz., rys.

Twórcy

autor

Jasińska L.

• Politechnika Wrocławska, Wrocław

autor

Malecha K.

• Politechnika Wrocławska, Wrocław

Bibliografia

• [1]. L.J. Golonka, T. Zawada, J. Radojewski, H. Roguszczak, M. Stefanow, „LTCC Microfluidic System”, International Journal of Applied Ceramic Technology, nr 3, s 150-156, 2006.
• [2]. L. Golonka, Z. Ianelli, H. Roguszczak, H. Sztajer, P. Wojtas, P. Wisznowski, D. Babecki, ”LTCC wireless module”, Elektronika, nr 3, s. 25-27, 2011.
• [3]. L. Golonka, „Zastosowanie ceramiki LTCC w mikroelektronice”, Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej, 2001
• [4]. S. H. Kim, J. S. Kim, N.K. Kang, J. C. Kim, H.G. Yang, J. G. Yook, „Package-Level Integrated LTCC Antenna fot RF Package Application”, IEEE Transactions on Advanced Packaging, tom 30, s. 132-141, 2017
• [5]. M. Kirsch, B. Haußermann, W. Konrath, ”Buried Microwave Designs using LTCC Multilayer Technology for High Density Integrated Space Hybrids”, Micro- and Milimetre Wave Technology and Techniques Workshop – materiały pokonferencyjne, 2014
• [6]. K. Malecha., L.J. Golonka, J. Bałdyga, M. Jasińska, P. Sobieszuk, “Serpentine microfluidic mixer made in LTCC”, Sensors and Actuators B: Chemical, tom 143, s. 400-413, 2009
• [7]. B. Barteczka, P. Słobodzian, J. Macioszczyk, L. Golonka, “A Comparision of Two Practical Methods for Measurement of the Dielectric Constant of LTCC Substrates”, Microwaves, Radar, and Wireless Communication (MIKON) - materiały pokonferencyjne, s. 1-4, 2014
• [8]. J. Macioszczyk, O. Rac-Rumijowska, P. Słobodzian, H. Teterycz, K. Malecha, ”Microfluidical Microwave Reactor for Synthesis of Gold Nanoparticles”, Micromachines 8(11), 2017
• [9]. L. Jasińska, J. Macioszczyk, K. Malecha, P. Słobodzian „Integracja obwodu mikrofalowego z mikroprzepływowym układem wykonanym w technologii LTCC”, Elektronika, nr 10, s. 3-6, 2017
• [10]. N. Jankovic, V. Radonic, “A Microwave Microfluidic Sensor Based on a Dual-Mode Resonator for Dual-Sensing Applications”, Sensors 17(12), 2017
• [11]. M. B. Gawande, S. N. Shelke, R. Zboril, R. S. Varma, “Microwave-assisted Chemistry: Synthetic Applications for Rapid Assembly of Nanomaterials and Organics”, Acc. Chem. Res., tom 47, s. 1338-1348, 2014
• [12]. Strona internetowa Laboratorium Mikrosystemów Grubowarstwowych Zakładu Technik Elektronicznych i Fotonicznych Wydziału Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej http://w12.pwr.wroc.pl/lmg/

Uwagi

Opracowanie rekordu w ramach umowy 509/P-DUN/2018 ze środków MNiSW przeznaczonych na działalność upowszechniającą naukę (2018).