FIB/SEM technology in NEMS/MEMS fabrication and investigation

• Autorzy: Kunicki P. , Kowalski Z. W. , Gotszalk T.

Identyfikatory

DOI

10.15199/48.2016.08.06

Warianty tytułu

PL

Technologia FIB/SEM w produkcji i badaniach NEMS/MEMS

• Języki publikacji: EN

Abstrakty

EN

FEI Helios NanoLab 600i microscope with Kleindiek MM3A-EM micromanipulators, controlled by microscope PC connected to Keithley 2400 Source Meter, has been used in our experiments. Due to limited space only several examples of FIB/SEM processes that have been conducted are presented here. They proof the great advantage of this technology in modifying single structures in short time.

PL

Mikroskop FEI Helios600i wraz z mikromanipulatorami Kleindiek MM3A-EM oraz urządzenie Keithley 2400 zostały użyte w naszych eksperymentach. Z powodu ograniczonego miejsca przedstawiono jedynie kilka przykładów procesów z wykorzystaniem technologii FIB/SEM. Największą zaletą tej technologii jest możliwość modyfikacji pojedynczej struktury w krótkim czasie.

Słowa kluczowe

EN

Focused Ion Beam; scanning electron microscope; micro electro-mechanical systems; Nano Electro-Mechanical Systems

PL

zogniskowana wiązka jonów; skaningowy mikroskop elektronowy; mikro elektro-mechaniczny system; nano elektro- mechaniczny system

• Wydawca: Wydawnictwo SIGMA-NOT
• Czasopismo: Przegląd Elektrotechniczny
• Rocznik: 2016
• Tom: R. 92, nr 8
• Strony: 21--24
• Opis fizyczny: Bibliogr. 7 poz., fot., wykr.

Twórcy

autor

Kunicki P.

• Wrocław University of Technology, Microsystems Electronics and Photonics Faculty, ul. Zygmunta Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław, Poland

autor

Kowalski Z. W.

• Wrocław University of Technology, Microsystems Electronics and Photonics Faculty, ul. Zygmunta Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław, Poland

autor

Gotszalk T.

• Wrocław University of Technology, Microsystems Electronics and Photonics Faculty, ul. Zygmunta Janiszewskiego 11/17, 50-372 Wrocław, Poland

Bibliografia

• [1] Giannuzzi L.A., Stevie F.A., A review of focused ion beam milling techniques for TEM specimen preparation, Micron, 30 (1999), 197-204
• [2] Gierak J., Focused ion beam technology and ultimate applications, Semicond. Sci. Technol., 24 (2009), 043001 (23pp)
• [3] Schneider P., Meier M., Wepf R., Mueller R., Serial FIB/SEM imaging for quantitative 3D assessment fort the osteocyte lacuno-canalicunar network, Bone, 49 (2011), 304-311
• [4] Villinger C., Gregorius H., Kranz C., Hoehn K., Muenzberg C., von Wichert G., Mizaikoff B., Wanner G., Walther P., FIB/SEM tomography with TEM-like resolution for 3D imaging of highpressure frozen cells, Histochemistry and Cell Biology, 138 (2012), 549-556
• [5] Kizilyaprak C., Bittermann A.G., Daraspe J., Humbel B.M., FIB/SEM tomography in biology, Methods Mol. Biol., 1117 (2014), 541-558
• [6] Walraven J.A., Failure mechanisms in MEMS, International Test Conference 2003, Charlotte, NC, USA, 30 September - 2 October 2003, IEEE Computer Society, 828-833
• [7] Sierakowski A., Kopiec D., Janus P., Ekwińska M., Płuska M., Grabiec P., Gotszalk T., Piezoresistive cantilever working in a shear force mode for in situ characterization of exposed microand nanostructures, Measurement Science and Technology, 25 (2014), 044018.

Uwagi

Opracowanie ze środków MNiSW w ramach umowy 812/P-DUN/2016 na działalność upowszechniającą naukę.