Postępy nanometrologii układów MEMS/NEMS

• Autorzy: Moczała M. , Sierakowski A. , Janus P. , Grabiec P. , Leśniewicz W. , Gotszalk T.

Identyfikatory

DOI

10.17814/mechanik.2016.11.459

Warianty tytułu

EN

Progress in nanometrology of MEMS/NEMS devices

• Konferencja: VII Kongres Metrologii „Metrologia fundamentem postępu w naukach stosowanych”
• Języki publikacji: PL

Abstrakty

PL

Przedstawiono podstawowe zagadnienia pomiaru właściwo- ści układów mikro- i nanoelektromechanicznych (micro- and nanoelectromechanical systems – MEMS/NEMS) przeznaczonych do wysokorozdzielczych obserwacji zmian masy i siły w zakresie mniejszym niż 1 ng i 1 pN.

EN

In the presented paper we discuss high resolution and sensitivity measurement method used in the characterization of modern micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS, NEMS), which are foreseen to perform mass detection and force investigations in the range from 1 ng and 1 pN.

Słowa kluczowe

PL

nanometrologia; układy MEMS; układy NEMS

EN

nanometrology; MEMS/NEMS devices

• Wydawca: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
• Czasopismo: Mechanik
• Rocznik: 2016
• Tom: R. 89, nr 11
• Strony: 1611--1613
• Opis fizyczny: Bibliogr. 10 poz., rys.

Twórcy

autor

Moczała M.

• Wydziałowy Zakład Metrologii Mikro- i Nanostruktur, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej

autor

Sierakowski A.

• Instytut Technologii Elektronowej, Zakład Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych

autor

Janus P.

• Instytut Technologii Elektronowej, Zakład Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych

autor

Grabiec P.

• Instytut Technologii Elektronowej, Zakład Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych

autor

Leśniewicz W.

• Wydziałowy Zakład Metrologii Mikro- i Nanostruktur, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej

autor

Gotszalk T.

• Wydziałowy Zakład Metrologii Mikro- i Nanostruktur, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej

Bibliografia

• 1. Li M., Tang H.X., Roukes M.L. “Ultra-sensitive NEMS-based cantilevers forsensing, scanned probe and very high-frequency applications”. Nat.Nanotechnol. 2 (2007): pp. 114–120.
• 2. Ekinci K.L., Roukes M.L., “Nanoelectromechanical systems”, Review of Scientific Instruments. 76, 061101 (2005): pp. 1–12.
• 3. Jóźwiak G., Kopiec D., Zawierucha P., Gotszalk T., Janus P., Grabiec P., Rangelow I.W., “The spring constant calibration of the piezoresistive cantilever based biosensor”. Sensors and Actuators, B: Chemical. 170 (2012): p. 201.
• 4. Nieradka K., Kopiec D., Małozięć G., Kowalska Z., Grabiec P., Janus P., Sierakowski A., Domański K., Gotszalk T., “Fabrication and characterization of electromagnetically actuated microcantilevers for biochemical sensing, parallel AFM and nanomanipulation”. Microelectronic Engineering. (2012): pp. 676–679.
• 5. Woszczyna M., Zawierucha P., Pałetko P., Zielony M., Gotszalk T., Sarov Y., Ivanov T., Frank A., Zöllner J., Rangelow I.W. “Micromachined scanning proximal probes with integrated piezoresistive readout and bimetal actuator for high eigenmode operation”. J. Vac. Sci. Technol. B 28 (2010).
• 6. Bao M. H. “Micro Mechanical Transducers”. Elsevier, 2000.
• 7. Senturia S.D., “Microsystem Design”. Kluwer Academic Publishers, 2002.
• 8. Sikorski S. „Wstęp do elektroniki półprzewodników”. Warszawa: ITE, 2010.
• 9. Moczała M., Babij M., Majstrzyk W., Sierakowski A., Dobrowolski R., Janus P., Grabiec P., Gotszalk T. „Technology of thermally driven and magnetomotively detected MEMS microbridges”. Sensors and Actuators A: Physical. 240 (2016): pp. 17–22.
• 10. Tortonese M., Barrett R.C., Quate C.F. “Atomic resolution with an atomic force microscope using piezoresistive detection”. Applied Physics Letters. 62 (1992).

Uwagi

PL

Opracowanie ze środków MNiSW w ramach umowy 812/P-DUN/2016 na działalność upowszechniającą naukę.