PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
Tytuł artykułu

Postępy nanometrologii układów MEMS/NEMS

Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Identyfikatory
Warianty tytułu
EN
Progress in nanometrology of MEMS/NEMS devices
Konferencja
VII Kongres Metrologii „Metrologia fundamentem postępu w naukach stosowanych”
Języki publikacji
PL
Abstrakty
PL
Przedstawiono podstawowe zagadnienia pomiaru właściwo- ści układów mikro- i nanoelektromechanicznych (micro- and nanoelectromechanical systems – MEMS/NEMS) przeznaczonych do wysokorozdzielczych obserwacji zmian masy i siły w zakresie mniejszym niż 1 ng i 1 pN.
EN
In the presented paper we discuss high resolution and sensitivity measurement method used in the characterization of modern micro- and nanoelectromechanical systems (MEMS, NEMS), which are foreseen to perform mass detection and force investigations in the range from 1 ng and 1 pN.
Czasopismo
Rocznik
Strony
1611--1613
Opis fizyczny
Bibliogr. 10 poz., rys.
Twórcy
autor
  • Wydziałowy Zakład Metrologii Mikro- i Nanostruktur, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej
  • Instytut Technologii Elektronowej, Zakład Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych
autor
  • Instytut Technologii Elektronowej, Zakład Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych
autor
  • Instytut Technologii Elektronowej, Zakład Technologii Mikrosystemów i Nanostruktur Krzemowych
  • Wydziałowy Zakład Metrologii Mikro- i Nanostruktur, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej
autor
  • Wydziałowy Zakład Metrologii Mikro- i Nanostruktur, Wydział Elektroniki Mikrosystemów i Fotoniki Politechniki Wrocławskiej
Bibliografia
  • 1. Li M., Tang H.X., Roukes M.L. “Ultra-sensitive NEMS-based cantilevers forsensing, scanned probe and very high-frequency applications”. Nat.Nanotechnol. 2 (2007): pp. 114–120.
  • 2. Ekinci K.L., Roukes M.L., “Nanoelectromechanical systems”, Review of Scientific Instruments. 76, 061101 (2005): pp. 1–12.
  • 3. Jóźwiak G., Kopiec D., Zawierucha P., Gotszalk T., Janus P., Grabiec P., Rangelow I.W., “The spring constant calibration of the piezoresistive cantilever based biosensor”. Sensors and Actuators, B: Chemical. 170 (2012): p. 201.
  • 4. Nieradka K., Kopiec D., Małozięć G., Kowalska Z., Grabiec P., Janus P., Sierakowski A., Domański K., Gotszalk T., “Fabrication and characterization of electromagnetically actuated microcantilevers for biochemical sensing, parallel AFM and nanomanipulation”. Microelectronic Engineering. (2012): pp. 676–679.
  • 5. Woszczyna M., Zawierucha P., Pałetko P., Zielony M., Gotszalk T., Sarov Y., Ivanov T., Frank A., Zöllner J., Rangelow I.W. “Micromachined scanning proximal probes with integrated piezoresistive readout and bimetal actuator for high eigenmode operation”. J. Vac. Sci. Technol. B 28 (2010).
  • 6. Bao M. H. “Micro Mechanical Transducers”. Elsevier, 2000.
  • 7. Senturia S.D., “Microsystem Design”. Kluwer Academic Publishers, 2002.
  • 8. Sikorski S. „Wstęp do elektroniki półprzewodników”. Warszawa: ITE, 2010.
  • 9. Moczała M., Babij M., Majstrzyk W., Sierakowski A., Dobrowolski R., Janus P., Grabiec P., Gotszalk T. „Technology of thermally driven and magnetomotively detected MEMS microbridges”. Sensors and Actuators A: Physical. 240 (2016): pp. 17–22.
  • 10. Tortonese M., Barrett R.C., Quate C.F. “Atomic resolution with an atomic force microscope using piezoresistive detection”. Applied Physics Letters. 62 (1992).
Uwagi
PL
Opracowanie ze środków MNiSW w ramach umowy 812/P-DUN/2016 na działalność upowszechniającą naukę.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-062d1b24-e46a-46fc-a20b-9b2ab3e79025
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.