PL EN


Preferencje help
Widoczny [Schowaj] Abstrakt
Liczba wyników
2014 | Vol. 32, No. 2 | 247--251
Tytuł artykułu

Analysis of electromigration phenomenon in thick-film and LTCC structures at elevated temperature

Wybrane pełne teksty z tego czasopisma
Warianty tytułu
Języki publikacji
EN
Abstrakty
EN
Studies on electromigration phenomenon in thick-film structures on alumina and LTCC substrates are presented in this paper. The effects of storage of Au and Ag electrode patterns in temperature range up to 300 °C under voltage bias were examined. The leakage characteristics of electrodes with 100 μm spacing at 50 V dc bias as a function of time and temperature are presented and analyzed. Scanning electron microscope (SEM) equipped with the energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) detector was applied for determination of metal ions transport. Test structures with Au-based conductive material are much more resistant to electromigration than Ag-based layers.
Słowa kluczowe
Wydawca

Rocznik
Strony
247--251
Opis fizyczny
Bibliogr. 9 poz., rys., tab., wykr.
Twórcy
autor
autor
  • Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology,Wybrzeze Wyspianskiego 27, 50-370 Wrocław, Poland, andrzej.dziedzic@pwr.edu.pl
Bibliografia
  • [1] JOHNSON R., EVANS J.L., JACOBSEN P., THOMPSON J.R. CHRISTOPHER M., IEEE T. Electron. Pa. M., 27 (2004), 164.
  • [2] NEUDECK P., OKOJIE R., CHEN L.-Y., P. IEEE, 90 (2002), 1065.
  • [3] BUTTAY C. et al., Mat. Sci. Eng. B-Solid, 176 (2011),283.
  • [4] NAGUIB H., MACLAURIN B., IEEE T. Compon. Hybr., 2(1979), 196.
  • [5] KRUMBEIN S.J., IEEE T. Compon. Hybr., 11 (1989), 5.
  • [6] ZHANG R., JOHNSON R.W., VERT A., ZHANG T.,SHADDOCK D., IEEE T. Compon. Hybr., 2 (2012), 1750.
  • [7] MI´S E., BORUCKI M., DZIEDZIC A., KAMI´NSKI S.,WOLTER K.-J., SONNTAG F., ESTC 2006, 954.
  • [8] NOWAK D., MI´S E., DZIEDZIC A., KITA J., Microelectron.Reliab., 49 (2009), 600.
  • [9] ORIO R., CERIC H., SELBERHER S., Microelectron. Reliab.,52 (2012), 1981.
Typ dokumentu
Bibliografia
Identyfikatory
Identyfikator YADDA
bwmeta1.element.baztech-52a4e9e2-c4e1-4fed-91cf-ae18613480a1
JavaScript jest wyłączony w Twojej przeglądarce internetowej. Włącz go, a następnie odśwież stronę, aby móc w pełni z niej korzystać.